Atmosferski procesi u proizvodnji poluprovodnika

Za rukovanje oblatnama između FOUP-a i zaključavanja opterećenja, Festo se oslanja na "obrnuti portal". Ovaj kartezijanski robot obezbeđuje bezbedno i brzo kretanje vafla u atmosferskim sredinama. Rešenje štedi prostor i može se integrisati u postojeće EFEM-ove.

Preporučeni proizvodi:
Električni osovina ELGD

Naš globalno jedinstveni vafel aligner kombinuje krajnji efektor i aligner u jednom kompaktnom sistemu. Odlikuje se nežnim rukovanjem, optimalnom ponovljivošću i izuzetno malim otiskom. Naše rešenje za automatizaciju pozicionira vafel direktno na viljušku, detektuje oznake kao što su zarezi, poravnava vafel u skladu sa tim i učitava ga u procesnu komoru sa preciznošću. Ova kombinacija nekoliko koraka u jednom modulu smanjuje vreme ciklusa, EFEM zauzima znatno manje prostora i smanjuje broj oblatni, tj. koliko često se vafel pokupi i postavi. Beskontaktno poravnanje se vrši pomoću Bernoullijevog efekta. Ovo takođe omogućava da se oblanda okrene i stavi naopako u procesu.

Pin lift za vafle omogućava precizno pozicioniranje vafla bez vibracija sa tačnošću do jednog mikrometra. Moguće je i kretanje podloge od kraja do kraja bez vibracija kako bi se izbegla takozvana šetnja vafla. Glavna prednost je u tome što sistem detektuje silu potrebnu za podizanje oblande, npr. Iz elektro-statičkog stezne glave (ESC). Ovo značajno smanjuje rizik od mikropukotina u vafla ili čak potpune vafel pauze. Pneumatsko rešenje je kompaktniji od električnih sistema, smanjuje električne komponente kao što su motori i kontroleri motora, a samim tim i toplotno zračenje, jer kontrolni ventili ne moraju biti postavljeni neposredno pored procesne komore. Specijalizovani pogoni za visoki vakuum mogu se kontrolisati i pomoću Festo kontrolnih ventila.

Sistem generiše i isporučuje podatke koje možete koristiti za praćenje stanja sredstva. Da biste to uradili, možete koristiti postojeće algoritme iz Festo AI alata "Festo AX" i preneti ih u svoj sistem kao jednu komponentu ili kao ceo, personalizovani sistem.

Preporučeni proizvodi:
Ventil terminal VTEP
Open-loop kontrola CPX-E
Senzor SDAT

Naša rešenja za čišćenje N2 za stvaranje i održavanje čiste atmosfere pouzdano sprečavaju oksidaciju atmosferskim kiseonikom i zagađenje česticama u vazduhu. Naći ćete pravi sistem za svaku aplikaciju, od niskog do visokog protoka, npr. za FOUP-ove. Naš portfolio uključuje kontrolere masenog protoka (MFC) kao jednokanalne, kao i terminale ventila sa više MFC-a kao višekanalno rešenje. Za EFEM, SMIF / FOUP zalihe ili banke za čišćenje, nudimo rešenja za čišćenje sa posebno kompaktnim otiskom. Sistem generiše podatke koje možete koristiti za praćenje stanja sistema, posebno stepen kontaminacije filtera koji se koriste. Izbegavajte neplanirane zastoje mašine i dodatno optimizujte svoj proces.

Preporučeni proizvodi:
Naši kontroleri masenog protoka VEMD, VEAD, VEFC, VTEP

Prilikom oblaganja podloge sa fotorezista (PR), što može biti troškovno intenzivno, između ostalog, naše kontrole ventila za doziranje obezbeđuju tačne debljine sloja. I na taj način za stabilan i ponovljiv kvalitet procesa, kao i optimalnu isplativost. Funkcija usisavanja sprečava da se kapljice uhvate na spoljnoj strani vrha mlaznice. Na ovaj način, naši ventili obezbeđuju precizno PR doziranje i povlačenje poslednje kapi, čime štite osetljive medije od atmosferskog kiseonika.

Preporučeni proizvodi:
Ventili za doziranje VEAB i VTEP
Mediji odvojeni magnetni ventili VIKA / VIKC
Električni pogoni EPCO i ERMO, kao i odgovarajući senzori

Naši ventili i senzori kontrolišu procesne medije u pod-fabrike, u hook-up i u VFE / alat sa visokom preciznošću i efikasnošću. Bilo da se radi o suspenziji sa abrazivnim česticama, vlažnim hemikalijama kao što su kiseline ili lužine, DI vodi ili rastvaračima – bez obzira da li je instalacija u suvoj kutiji, kontrolnom ormaru ili direktno na alatu – i bez obzira da li je vaš fokus na minimiziranom otisku, čistoći čestica, brzom vremenu prebacivanja ili posebnim ekološkim zahtevima kao što su visoka temperatura ili hemijsko opterećenje: Festo nudi pouzdana rešenja za ventile i kontrolu Za svaku primenu – za dugotrajnu i pouzdanu proizvodnju poluprovodnika.

Naši sistemi mogu generisati podatke koje možete koristiti za praćenje stanja imovine. Da biste to uradili, možete koristiti postojeće algoritme iz Festo AI alata "Festo AX" i preneti ih u svoj sistem kao jednu komponentu ili kao ceo, personalizovani sistem.

Preporučeni proizvodi:
Ventili VTOC, MH1, MHA2 i VUVG / VTUX
SPTEi, SPAN i SPAF senzori

Takozvani posuda lift koristi pneumatske pogone koji se mogu koristiti za odvajanje, ponovnu upotrebu ili odlaganje tečnih procesnih medija na ciljani način. Odgovarajući kontejneri za sakupljanje ("posude ili posude") su precizno postavljeni i sigurno drže u zavisnosti od medija ili potrebne visine spreja. Istovremeno, sistem pomaže da se značajno smanje vibracije i udarci tokom rada postrojenja.

Naši sistemi mogu generisati podatke koje možete koristiti za praćenje stanja imovine. Da biste to uradili, možete koristiti postojeće algoritme iz Festo AI alata "Festo AX" i preneti ih u svoj sistem kao jednu komponentu ili kao ceo, personalizovani sistem.

Preporučeni proizvodi:
Ventil terminal VTEP
cilindar DFM
Open-loop kontrola CPX-E
Senzor SDAT

U hemijskom mehaničkom poliranju (CMP), naš pneumatski upravljački sistem obezbeđuje dinamičku i visoko preciznu kontaktnu silu između vafla i stola za preklapanje. U tom cilju, piezo ventili regulišu pritisak u realnom vremenu i omogućavaju da se vafli pritisnu i podignu posebno nežno. Ventili, u kombinaciji sa našim senzorima pritiska, omogućavaju posebno visoku preciznost.

Preporučeni proizvodi:
Piezo ventili VTEP i VEAB
SPAN senzor pritiska
Mediji odvojen magnetni ventil VYKC

U vlažnim procesnim postrojenjima, kao što su spin čistači ili kaput linije, važno je da vrata procesne komore radi pouzdano. Posebno važno u čistoj sobi je da mora pouzdano zaštititi pločice od kontaminacije čak i pod neočekivanim uslovima – kao što je kvar struje ili dovoda vazduha – i ne sme biti izvor čestica. Naša rešenja za zatvaranje vrata uključuju pouzdane i precizne okrugle cilindre sa specijalnim mazivima za automatsko otvaranje i zatvaranje. Pored toga, naši pneumatski sistemi za blokiranje obezbeđuju sigurne brave. Senzori koji se koriste pružaju pouzdane povratne informacije o položaju.

Preporučeni proizvodi:
Okrugli cilindar DSNU
Sistemi za blokiranje VOFA, VTOC, Ventilsko ostrvo VTOC MH1, VUVG / VTUG, VTUKS
SPTEi, SPAN i SPAF senzori

Nudimo brojna specijalna rešenja za rukovanje FOUP-ovima, SMIF mahunama, podlogama i končanicama, u visoko automatizovanim fabrikama poluprovodnika. Sa našim obrnutim portalnim sistemom, ostvarujemo uštedu prostora i ekonomične pokrete u EFEM-u, dok naš inovativni vafel aligner ubrzava proces utovara kroz integrisano poravnanje i na taj način skraćuje vreme ciklusa. Za FOUP-ove, isporučujemo N2 sisteme za čišćenje visokih performansi sa preciznom kontrolom, opciono kao jednokanalno ili višekanalno rešenje, što vam pomaže da smanjite broj I / O ili smanjite broj I / O. Upravljate nekoliko MFC-a sa jednim modulom sabirnice. Pored toga, razvijamo kompaktne sisteme za pročišćavanje za SMIF / FOUP zalihe ili banke matrica, koji precizno kontrolišu čak i niske tokove i obezbeđuju čistu zaštitnu atmosferu.

Nudimo specijalna rešenja za vlažne procese kao što su PR premazi, razvoj, traka ili SpinClean. Naša rešenja, kao što su ventili i senzori, kontrolišu svoje ventile visoke čistoće napravljene od PFA, PTFE, PVDV ili PP, respektivno. Njihovi ventili ultra visoke čistoće od nerđajućeg čelika su veoma precizni i efikasni, a zbog posebno nežne kontrole, takođe imate koristi od dugog radnog veka. Naši sistemi mogu generisati podatke koje možete koristiti za praćenje stanja imovine. Da biste to uradili, možete koristiti postojeće algoritme iz Festo AI alata "Festo AX" i preneti ih u svoj sistem kao jednu komponentu ili kao ceo, personalizovani sistem.
Bez obzira da li instalaciju u suvu kutiju, kontrolni ormar ili direktno na alat, da li je vaš fokus je na minimiziranom otisku, čestica čistoće, brzo prebacivanje puta, posebne zahteve životne sredine kao što su visoke temperature ili hemijskog opterećenja, nudimo pravo rešenje za svaku aplikaciju. Dozirajte agresivnije hemikalije, dok ventili sa funkcijom usisavanja sprečavaju kapanje tokom PR doziranja i obezbeđuju tačne količine medija. Za SpinCleaning procese, isporučujemo pneumatske pogone koji kontrolišu podizanje posude i beskonačno podešavaju zaštitu od prskanja ili separator medija u željeni položaj. Na ovaj način podržavamo sigurnu, efikasnu kontrolu procesa bez kontaminacije. I na taj način daju mali doprinos održivom proizvodnom procesu. Korišćenjem inovativne tehnologije ventila, možete da uštedite električnu energiju direktno sa Festo i na taj način smanjite svoj CO2 otisak, mi smo srećni da vas pratimo na putu da postane "zelena fabrika".

Nudimo posebna rešenja za CMP procese koji zahtevaju najveću preciznost i dinamiku, posebno u naprednom pakovanju. Naši visoko precizni piezo ventili omogućavaju preciznu kontrolu kontaktne sile – od ključnog značaja za kontrolisano i ravnomerno uklanjanje materijala. Na ovaj način ne samo da podržavamo kvalitet procesa i minimiziramo otpad, već i pomažemo u skraćivanju vremena procesa. Takođe razvijamo rešenja koja poboljšavaju efikasnost i dostupnost CMP sistema, na primer u kombinaciji sa jastučićima za kondicioniranje ili inteligentnim komponentama za automatizaciju.

Nudimo sveobuhvatna rešenja za automatizaciju svih oblasti i procesnih koraka fabrike Semicon. U inovativnim postrojenjima, na primer, podržavamo tehnološki napredak našim istraživanjima i našim proizvodima koji gledaju u budućnost. U SubFab-u obezbeđujemo, između ostalog, pouzdano snabdevanje medijima i stabilne procese kao što je prečišćavanje otpadnih voda ili izduvnih gasova. Od preciznih ventila do inteligentnih pogona do kompletnih sistema za rukovanje, naša rešenja za automatizaciju pouzdano doprinose tome da proizvodni procesi budu stabilniji, brži i energetski efikasniji.

Koristite podatke koje generišu naša rešenja i pratite status mašine ili optimizujte svoj proces – koristite Festo AI rešenja "Festo AX" u tu svrhu, bilo kao jedan modul za određenu aplikaciju ili kao personalizovano sveobuhvatno rešenje za vaš sistem.

Smanjite potrošnju energije u vašoj fabrici, kao i u celoj fabrici koristeći inovativnu Festo tehnologiju. Uštedite dva puta sa nama! Smanjite potrošnju energije vašeg sistema, kao i optimizaciju potrošnje komprimovanog vazduha / CDA i inertnih gasova. Pratimo vas u misiji smanjenja CO2 otiska.

Nudimo inovativna rešenja za naprednu ambalažu, koja igra centralnu ulogu u modernim čipletima kao što je HBM. Za procese kao što su FlipChip ili Fusion / Hibrid Bonding, isporučujemo precizne aktuatore za rukovanje kako bismo sprečili "stisnuti" u lepljenju. Iskoristite precizne aktuatore koji vam omogućavaju da ostvarite precizne pokrete sa tačnošću od 1 μm.
Izmerite savijanje vafla (iskrivljenih vafla) i povucite ih na steznu glavu.

Pratite procese i status mašine pomoću Festo AX-a. Iskoristite inovativnu Festo tehnologiju u vašem Fusion/Hybrid Bonder i povećajte pouzdanost i kvalitet procesa u sofisticiranom naprednom pakovanju.