Jedan od načina da se izdrži taj cenovni pritisak je značajno smanjenje potrošnje azota i energije potrebne za njegovu proizvodnju. Azot je medij koji se najčešće koristi u procesu proizvodnje poluprovodnika. U velikim fabrikama poluprovodnika potrošnja azota može iznositi i do 50.000 kubnih metara po satu. Između ostalog, azot se upotrebljava za pročišćavanje FOUP-ova kako bi se stvorilo kontrolisano okruženje bez kontaminacije za pločice za izradu čipova koje se transportuju od jedne mašine do druge radi obrade.
Pažljiva analiza područja u kojima se azot upotrebljava u fabrici i ciljano smanjenje potrošnje mogu dovesti do značajnih ušteda u kratkom vremenskom periodu. Posebno ispiranje FOUP-ova nudi mnoge mogućnosti za efikasno korišćenje azota kroz aktivno doziranje sa zatvorenom petljom za regulaciju. U poređenju sa konvencionalnim ventilima, piezoelektrični ventili za ispiranje vrše doziranje uz visoku preciznost, a istovremeno troše izuzetno malo energije. Uz odgovarajuće sisteme, potrošnja azota u velikoj fabrici kao i povezana potrošnja energije i emisije CO2 mogu se značajno smanjiti.
