Visokovakuumski postopki so temelj številnih pomembnih korakov v proizvodnji čipov in polprevodnikov. V zelo občutljivih okoljih, v katerih lahko že najmanjši delci motijo procese ali poškodujejo komponente, so bistvenega pomena največja natančnost, čistost in ponovljivost. Festo ponuja rešitve za avtomatizacijo, ki so natančno prilagojene tem zahtevam – tehnološko vodilne, zanesljive in dosledno združljive s čistimi prostori.
Tipične aplikacije v visokem vakuumu vključujejo postopke, kot so nanašanje, jedkanje ali ionska implantacija. Pogosto potekajo v razponu tlakov med 10-⁶ in 10-⁸ mbar ter postavljajo najvišje zahteve glede odpornosti materiala, nadzora temperature, hitrosti in natančnosti ponovnega nadzora procesnega plina. Z inovativnimi komponentami in sistemskimi rešitvami Festo podpira svoje stranke pri zagotavljanju kakovosti procesov, zmanjševanju izpadov in doseganju največjih donosov. Naj gre za temperaturno stabilne plinske ventile, ravnanje s ploščicami z majhnim številom delcev ali energetsko učinkovite pogone – dobavljamo rešitve, ki jih je mogoče brez težav vključiti v obstoječe sisteme, hkrati pa ponujajo možnosti za nadaljnji tehnološki razvoj.