Pre tieto prostredia ponúkame inovatívne riešenia na presnú kontrolu médií, šetrnú manipuláciu s plátkami a citlivú kontrolu síl, tlakov a profilov pohybu. Dôraz sa tu kladie na minimalizáciu tvorby častíc, vysokú stabilitu procesu a efektívnu integráciu. Či už ide o surové substráty, sieťky/ SMIF, FOUP, hotové spracované doštičky v pokročilých baliacich aplikáciách, ako sú flip-chipy a hybridné lepenie, alebo die bank - so spoločnosťou Festo môžete svoje procesy automatizovať bezpečne, efektívne a škálovateľne.
Aplikácie v atmosférickom prostredí
Manipulácia s oplátkami: prenos s úsporou miesta
Spoločnosť Festo sa pri manipulácii s plátkami medzi systémami FOUP a Load-Lock spolieha na "obrátený portál". Tento kartezový robot zabezpečuje bezpečný a rýchly pohyb doštičiek v atmosférickom prostredí. Riešenie je priestorovo úsporné a možno ho integrovať do existujúcich EFEM.
Odporúčané produkty:
Elektrická os ELGD
Wafer Aligner: niekoľko krokov v jednom
Náš celosvetovo jedinečný zarovnávač doštičiek kombinuje koncový efektor a zarovnávač v jednom kompaktnom systéme. Získava body za šetrné zaobchádzanie, optimálnu reprodukovateľnosť a extrémne nízku stopu. Naše automatizačné riešenie polohovací prvok umiestni priamo na vidlicu, rozpozná značky, ako sú zárezy, zodpovedajúcim spôsobom zarovná doštičku a vloží ju do procesnej komory s maximálnou presnosťou. Táto kombinácia viacerých krokov v jednom module znižuje časy cyklov, EFEM vyžaduje podstatne menej miesta a znižuje sa počet zdvihov doštičky, t. j. počet zdvihov a odložení doštičky. bezkontaktné vyrovnanie sa dosahuje pomocou Bernoulliho efektu. To znamená, že doštičku možno tiež otočiť ("prevrátiť") a vložiť ju do procesu hore nohami.
Inteligentný výťah: Presnosť s detekciou sily
Výťah pre doštičky umožňuje presné a bezvibračné polohovanie doštičky s presnosťou do jedného mikrometra. Pohyb substrátu od konca ku koncu bez vibrácií je možný aj preto, aby sa zabránilo takzvanému prechádzaniu dosiek. Hlavnou výhodou je, že systém rozpozná silu potrebnú na zdvihnutie doštičky, napr. z elektrostatického upínača doštičiek (ESC). Tým sa výrazne znižuje riziko vzniku mikrotrhlín v doštičke alebo dokonca úplného poškodenia doštičky. Pneumatické riešenie je kompaktnejšie ako elektrické systémy, znižuje množstvo elektrických komponentov, ako sú motory a kontroléry motorov, a tým aj tepelné vyžarovanie, pretože regulačné ventily nemusia byť polohovacím prvkom priamo pri procesnej komore. Špecializované pohony pre vysoké vákuum možno ovládať aj pomocou regulačných ventilov Festo.
Systém generuje a poskytuje údaje, ktoré môžete použiť na monitorovanie stavu systému. Na tento účel môžete použiť existujúce algoritmy z nástroja Festo AI "Festo AX" a integrovať ich do svojho systému ako jednotlivé moduly alebo ako celý personalizovaný systém.
Odporúčané produkty:
Ventilový terminál VTEP
Riadenie CPX-E
Snímač SDAT
N2 Prečistenie s MFC: Čistota s minimalizovanou stopou
Naše riešenia preplachovania N2 na vytváranie a udržiavanie čistej atmosféry spoľahlivo zabraňujú oxidácii vzdušným kyslíkom a kontaminácii časticami prenášanými vzduchom. Nájdete tu správny systém pre každú aplikáciu, od nízkych až po vysoké prietoky, napr. pre FOUP. Naše portfólio zahŕňa regulátory hmotnostného prietoku (MFC) ako jednokanálové a ventilové terminály s viacerými MFC ako viackanálové riešenia. Pre EFEM, skladové zariadenia SMIF/ FOUP alebo banky výliskov ponúkame riešenia preplachovania s mimoriadne kompaktnými rozmermi. Systém generuje údaje, ktoré môžete použiť na monitorovanie stavu systému, najmä stupňa znečistenia použitých filtrov. Vyhnite sa neplánovaným prestojom stroja a ďalej optimalizujte svoj proces.
Odporúčané produkty:
Naše regulátory hmotnostného prietoku VEMD, VEAD, VEFC, VTEP
Povlak fotorezistu (PR) s čeľusťou
Pri povrchovej úprave substrátov pomocou fotorezistov (PR), ktoré môže byť okrem iného nákladné, naše dávkovacie ventily zabezpečujú presnú hrúbku vrstvy. A tým aj stabilnú a reprodukovateľnú kvalitu procesu a optimálnu ekonomickú efektívnosť. Funkcia čeľusť zabraňuje uviaznutiu kvapiek na vonkajšej strane hrotu trysky. Naše ventily zabezpečujú presné dávkovanie PR a vťahovanie poslednej kvapky, čím chránia citlivé médiá pred atmosférickým kyslíkom.
Odporúčané produkty:
Dávkovacie ventily VEAB a VTEP
Elektromagnetické ventily oddelené médiom VYKA/ VYKC
Elektrické pohony EPCO a ERMO a príslušné snímače
Riadiace médiá: spoľahlivé systémy ventilov a senzorov
Naše ventily a snímače riadia procesné médiá v subfabrikáte, prípojke a WFE/nástroji s vysokou presnosťou a účinnosťou. Či už ide o suspenziu s abrazívnymi časticami, mokré chemikálie, ako sú kyseliny alebo zásady, voda DI alebo rozpúšťadlá - bez ohľadu na to, či sa inštalácia uskutočňuje v suchom boxe, rozvodnej skrinke alebo priamo na nástroji - a bez ohľadu na to, či sa zameriavate na minimalizáciu plochy, čistotu častíc, rýchle časy spínania alebo špeciálne požiadavky na prostredie, ako je vysoká teplota alebo chemické záťaže: Festo ponúka spoľahlivé ventily a riadenie pre každú aplikáciu - pre dlhodobú a spoľahlivú výrobu polovodičov.
Naše systémy môžu generovať údaje, ktoré môžete použiť na monitorovanie stavu systému. Na tento účel môžete použiť existujúce algoritmy z nástroja Festo AI "Festo AX" a integrovať ich do svojho systému ako jednotlivé moduly alebo ako celý personalizovaný systém.
Odporúčané produkty:
Ventily VTOC, MH1, MHA2 a VUVG/ VTUX
Snímače SPTE, SPAN a SPAF
Výťah misky: Pneumatické mikropolohovanie
Výťah využíva pneumatické pohony, pomocou ktorých možno tekuté procesné médiá špecificky oddeliť, opätovne použiť alebo riadene zlikvidovať. Príslušné zberné nádoby ("misky") sú presne umiestnené a bezpečne držia v závislosti od média alebo požadovanej výšky postreku. Systém zároveň pomáha výrazne znížiť vibrácie a otrasy počas prevádzky systému.
Naše systémy môžu generovať údaje, ktoré môžete použiť na monitorovanie stavu systému. Na tento účel môžete použiť existujúce algoritmy z nástroja Festo AI "Festo AX" a integrovať ich do svojho systému ako jednotlivé moduly alebo ako celý personalizovaný systém.
Odporúčané produkty:
Ventilový terminál VTEP
Valec DFM
Riadenie CPX-E
Snímač SDAT
Presná regulácia tlaku a sily na leštenie
Pri chemicko-mechanickom leštení (CMP) zabezpečuje naše pneumatické riadenie dynamickú a veľmi presnú prítlačovú silu medzi plátkom a lapovacím stolom. Ventily regulujú tlak v reálnom čase a umožňujú obzvlášť jemné stláčanie a zdvíhanie doštičiek. V spojení s našimi tlakovými snímačmi umožňujú ventily mimoriadne vysokú úroveň presnosti.
Odporúčané produkty:
Ventily VTEP a VEAB
Snímač tlaku SPAN
Elektromagnetický ventil oddelený médiom VYKC
Zatváranie dverí: Proporcionálne ovládanie pohybu
V systémoch mokrých procesov, ako sú napríklad odstredivé čističky alebo linky na nanášanie náterov, je dôležité, aby dvere do procesnej komory spoľahlivo fungovali. Obzvlášť dôležité v čistých priestoroch: musí spoľahlivo chrániť doštičky pred kontamináciou aj za neočakávaných podmienok - napríklad pri výpadku napájania alebo dodávky vzduchu - a nesmie byť sám zdrojom častíc. Naše riešenia dverových uzáverov zahŕňajú spoľahlivé a presné Kruhové valce so špeciálnymi mazivami na automatické otváranie a zatváranie. Naše pneumatické blokovacie systémy tiež zabezpečujú bezpečnú aretáciu. Použité snímače poskytujú spoľahlivú spätnú väzbu o polohe.
Odporúčané produkty:
Kruhové valce DSNU
Blokovacie systémy VOFA, VTOC, MH1, VUVG/ VTUG, VTUX
Snímače SPTE, SPAN a SPAF
Váš úspech je naším cieľom: podporujeme vás inteligentnou automatizáciou vašich atmosférických procesov
Využite naše odborné znalosti v oblasti výroby polovodičov - bez ohľadu na to, či ide o výkonovú elektroniku, MEMS, logické alebo pamäťové čipy a či sú doštičky vyrobené z kremíka, zafíru alebo SiC (karbidu kremíka). Dovoľte nám, aby sme vám poskytli individuálne poradenstvo s vašou žiadosťou, či už ide o manipuláciu s FOUP, výdaj PR alebo CMP. Spoločne vyvíjame riešenia, ktoré dokonale zodpovedajú vašim požiadavkám a architektúre vášho systému.
Poznáme výzvy, ktorým čelíte, a podporujeme vás riešeniami, ktoré vám pomôžu dosiahnuť trvalý úspech:
- Optimalizovaný front end: Zvýšenie výkonu EFEM pomocou nášho obráteného portálového systému. Manipulačný systém je mimoriadne priestorovo úsporný, odolný a predstavuje cenovo výhodnú alternatívu k bežným robotom.
- Odolné ventily: Porozprávajte sa s nami o presnom a šetrnom ovládaní a riadení pneumatických ventilov vysokej čistoty vyrobených z PTFE a PFA.
- Žiadne kvapkanie: Naše ventily s čeľusťou zabraňujú kvapkaniu a zabezpečujú tak presné dávkovanie PR.
- Presný úber materiálu: S našimi inovatívnymi presnými ventilmi môžete presne ovládať kontaktný tlak - pre rýchly a presný úber materiálu.
Rýchly výber produktu pomocou správneho technického nástroja
Znížte spotrebu dusíka a energie
Môžete čeliť cenovému tlaku v polovodičovom priemysle! Trvalo znížená spotreba dusíka a energie tiež zlepšuje vašu uhlíkovú stopu pri výrobe polovodičov.
Často kladené otázky
Aké riešenia ponúkame pre atmosférické procesy, ako sú PR lakovanie, mokré čistenie a CMP?
Podporujeme atmosférické procesy vo výrobe polovodičov, ako je PR nanášanie, expozícia, vyvolávanie, mokré procesy a CMP, presnými automatizačnými riešeniami, napríklad obrátenými portálovými systémami na manipuláciu so substrátom alebo sieťkou/maskou, ventilovou technikou na presné a spoľahlivé riadenie a reguláciu ventilov médií, ako sú ventily vysokej čistoty z plastu alebo UHP ventily z nehrdzavejúcej ocele, ako aj kompaktné pneumatické a elektrické pohony. Naše riešenia nájdete napríklad v samotných procesných nástrojoch, ale aj v periférnych zariadeniach, ako sú čistiace a manipulačné systémy pre FOUP, SMIF alebo sieťky/masky, ako aj v technológiách skladovania a riešeniach pre moderné baliace kroky, ako je FlipChip alebo hybridné lepenie v pokročilých obaloch.
Ponúka spoločnosť Festo špeciálne riešenia pre FOUP alebo SMIF struky alebo pre manipuláciu so substrátom alebo sieťkou?
Ponúkame množstvo špecializovaných riešení na manipuláciu s FOUP, SMIF modulmi, substrátmi a sieťkami vo vysoko automatizovaných závodoch na výrobu polovodičov. S naším obráteným portálovým systémom realizujeme priestorovo úsporné a hospodárne pohyby v EFEM, zatiaľ čo náš inovatívny zarovnávač doštičiek urýchľuje proces nakladania vďaka integrovanému zarovnávaniu a skracuje tak čas cyklu. Pre FOUP dodávame vysoko výkonné systémy preplachovania N2 s presným riadením, voliteľne ako jedno- alebo viackanálové riešenie, ktoré vám pomôže znížiť počet vstupov/výstupov alebo prevádzkovať niekoľko MFC pomocou jedného zbernicového modulu. Vyvíjame tiež kompaktné preplachovacie systémy pre zátky SMIF/ FOUP alebo banky zápustiek, ktoré presne kontrolujú aj nízke prietoky a zabezpečujú čistú ochrannú atmosféru.
Má spoločnosť Festo špeciálne riešenia pre mokré procesy, ako napríklad PR lakovanie, vyvíjanie a odstraňovanie povlakov alebo SpinClean?
Ponúkame špeciálne riešenia pre mokré procesy, ako je PR coating, vyvolávanie, stripovanie alebo SpinClean. Naše riešenia, ako sú ventily a snímače, riadia vaše ventily s vysokou čistotou vyrobené z PFA, PTFE, PVDV alebo PP alebo vaše ventily s ultravysokou čistotou vyrobené z nehrdzavejúcej ocele s vysokou presnosťou a účinnosťou a vďaka mimoriadne šetrnému ovládaniu profitujete aj z dlhej životnosti. Naše systémy môžu generovať údaje, ktoré môžete použiť na monitorovanie stavu systému. Na tento účel môžete použiť existujúce algoritmy z nástroja Festo AI "Festo AX" a integrovať ich do svojho systému ako jednotlivé moduly alebo ako celý personalizovaný systém.
Či už ide o inštaláciu do suchého boxu, rozvodnej skrine alebo priamo na nástroj, bez ohľadu na to, či sa zameriavate na minimalizáciu plochy, čistotu častíc, rýchle časy spínania, špeciálne požiadavky na prostredie, ako je vysoká teplota alebo chemické zaťaženie, ponúkame správne riešenie pre každú aplikáciu. Dávkovač agresívnych chemikálií, zatiaľ čo ventily s funkciou spätného nasávania zabraňujú kvapkaniu počas dávkovania PR a zabezpečujú presné množstvo médií. Pre procesy čistenia odstreďovaním dodávame pneumatické pohony, ktoré ovládajú výťah a plynule nastavujú ochranný kryt proti odstreku alebo odlučovač médií do požadovanej polohy. Týmto spôsobom podporujeme bezpečné, efektívne riadenie procesov bez kontaminácie. A tým prispieť k udržateľnému výrobnému procesu. Použitím inovatívnej technológie ventilov môžete priamo so spoločnosťou Festo ušetriť elektrickú energiu a znížiť tak svoju emisnú stopu CO2. Radi vás budeme sprevádzať na ceste k tomu, aby ste sa stali "zelenou fabrikou".
Ponúka spoločnosť Festo špeciálne riešenia pre procesy alebo stroje CMP?
Ponúkame špeciálne riešenia pre procesy CMP, ktoré si vyžadujú maximálnu presnosť a dynamiku, najmä v oblasti moderného balenia. Naše vysoko presné piezoventily umožňujú presné riadenie prítlaku, čo je rozhodujúce pre kontrolovaný a rovnomerný úber materiálu. Týmto spôsobom nielen podporujeme kvalitu procesu a minimalizujeme množstvo zmetkov, ale tiež pomáhame skrátiť časy procesu. Vyvíjame tiež riešenia, ktoré zlepšujú účinnosť a dostupnosť systémov CMP, napríklad v spojení s kondicionérovými podložkami alebo inteligentnými automatizačnými komponentmi.
Čo ponúka spoločnosť Festo pre všeobecnú automatizáciu výroby polovodičov?
Ponúkame komplexné riešenia na automatizáciu všetkých oblastí a procesných krokov v polotovaroch. Napríklad v inovatívnych závodoch podporujeme technologický pokrok prostredníctvom nášho výskumu a našich priekopníckych produktov. V subfabrikáte zabezpečujeme spoľahlivé zásobovanie médiami a stabilné procesy, ako je čistenie odpadových vôd alebo odpadových plynov. Naše automatizačné riešenia, od presných ventilov a inteligentných pohonov až po kompletné manipulačné systémy, spoľahlivo prispievajú k tomu, aby boli výrobné procesy stabilnejšie, rýchlejšie a energeticky účinnejšie.
Využívajte údaje, ktoré generujú naše riešenia, a monitorujte stav stroja alebo optimalizujte svoj proces - použite riešenia Festo AI "Festo AX", buď ako individuálny modul pre špeciálnu aplikáciu, alebo ako individuálne celkové riešenie pre váš systém.
Znížte spotrebu energie vo svojom systéme a v celej továrni pomocou inovatívnej technológie Festo. Ušetrite s nami dvakrát! Znížte spotrebu energie vášho systému a optimalizujte spotrebu stlačeného vzduchu/CDA a inertných plynov. Sprevádzame vás na vašej misii znižovania CO2 stopy.
Ponúka spoločnosť Festo riešenia pre pokročilé balenie?
Ponúkame inovatívne riešenia pre moderné obaly, ktoré zohrávajú ústrednú kladku v moderných čipoch, ako je napríklad HBM. Pre procesy, ako je lepenie flip-chipov alebo fúzne/hybridné lepenie, dodávame presné manipulačné aktuátory, ktoré zabraňujú "vytláčaniu" pri lepení. Využite presné pohony, s ktorými môžete realizovať presné pohyby s presnosťou 1µm.
Zmerajte ohnutie oblátok (pokrivené oblátky) a vytiahnite ich na skľučovadlo.
Monitorovanie procesov a stavu stroja pomocou systému Festo AX. Využite výhody inovatívnej technológie Festo vo vašom fúznom/hybridnom spájkovači a zvýšte spoľahlivosť a kvalitu procesov v náročných moderných obaloch.