Vysokovakuové procesy sú základom mnohých kritických krokov pri výrobe čipov a polovodičov. Vo vysoko citlivých prostrediach, kde aj tie najmenšie častice môžu narušiť procesy alebo poškodiť komponenty, je nevyhnutná maximálna presnosť, čistota a opakovateľnosť. Spoločnosť Festo ponúka automatizačné riešenia, ktoré sú presne prispôsobené týmto požiadavkám - technologicky špičkové, spoľahlivé a dôsledne kompatibilné s čistými priestormi.
Typické aplikácie vo vysokom vákuu zahŕňajú procesy, ako je depozícia, leptanie alebo implantácia iónov. Často sa uskutočňujú v tlakových rozsahoch od 10-⁶ do 10-⁸ mbar a kladú najvyššie nároky na odolnosť materiálu, reguláciu teploty, rýchlosť a opakovanú presnosť riadenia procesného plynu. S inovatívnymi komponentmi a systémovými riešeniami spoločnosť Festo podporuje svojich zákazníkov pri zabezpečovaní kvality procesov, minimalizácii prestojov a dosahovaní maximálnych výnosov. Či už ide o teplotne stabilné plynové ventily, manipuláciu s plátkami s nízkym obsahom častíc alebo energeticky účinné pohony - dodávame riešenia, ktoré možno bez problémov integrovať do existujúcich systémov a zároveň ponúkajú priestor na ďalší technologický vývoj.
Dusíkové zaplavenie FOUP pre 300 mm plátky zahŕňa preplachovanie prepravnej nádoby, aby sa zabránilo oxidácii a kontaminácii časticami. V EFEM sa vytvára laminárny prietok, ktorý vyplavuje častice smerom nadol v rámci modulu EFEM, čím sa zabezpečuje, že na doštičke nezostanú žiadne častice.
Naše výrobky: vysokoúčinné ventily s piezoelektrickou technológiou, ako sú VEAD, VEFC, VEMD.
Zámok medzi atmosférickým priestorom a vysokým vákuom, tzv. záťažový zámok, pri atmosférickom tlaku sa vloží doštička, evakuuje sa a potom sa umiestni do prenosovej komory. Takýmto spôsobom sa do EFEM vracajú aj hotové oblátky. Na tento účel sa záťažový uzáver opäť jemne odvzdušní. Ventily Festo presne riadia proces regenerácie podľa vopred definovaných tlakových kriviek. Tým sa zabráni turbulenciám, tepelnému namáhaniu a zníži sa mechanická záťaž.
Odporúčané produkty: VEFC Regulátor prietoku VEAD, regulátor hmotnostného prietoku
Spoločnosť Festo sa pri manipulácii s plátkami medzi systémami FOUP a Load-Lock spolieha na "obrátený portál". Tento karteziánsky robot zabezpečuje bezpečný a rýchly pohyb doštičiek v atmosférickom prostredí. Riešenie je priestorovo úsporné a ideálne na integráciu do existujúcich systémov EFEM.
Odporúčané produkty: Elektrická os ELGD
Každá procesná komora má jeden alebo viac pridružených plynových boxov. Ide o časť systému, v ktorej sa regulujú požadované procesné plyny alebo sa vyrábajú zmesi plynov pomocou ventilov z vysokočistej nehrdzavejúcej ocele.
Spoločnosť Festo ponúka pre túto aplikáciu špeciálne ventily, ktoré spĺňajú požiadavky na inštalačný priestor, životnosť a reprodukovateľnosť spínacích rýchlostí.
Odporúčané produkty: Ventilový terminál VTOC, jednoduchý ventil MH1
V systémoch depozície atómovej vrstvy (ALD) sú nároky na plynové ventily obzvlášť vysoké. Proces si vždy vyžaduje identickú sekvenciu s maximálnou presnosťou opakovania v rozmedzí niekoľkých milisekúnd: zavedenie procesných plynov, po ktorom nasleduje cievka inertným plynom. Vysoké teploty plynných médií spôsobujú vysoké záťaže ventilovej techniky. Ako ideálne riešenie pre opakovateľný a stabilný proces ALD je špeciálny rýchlouzáver MH2 na pilotné ovládanie ventilov médií schválený pre teploty okolia do 120 °C.
Odporúčané produkty: Rýchloupínací ventil MH2
Výťah vo vysokom vákuu umožňuje polohovanie doštičky v procesnej komore s nízkymi vibráciami, a to buď s jedným pohonom, alebo s 3 synchronizovanými pohonmi. Polohovací prvok bez vibrácií je možné s presnosťou až do jedného mikrometra. Pneumatické riešenia pracujú s nízkymi vibráciami, a tak sa vyhýbajú takzvanej chôdzi po doštičke. Výhodou riešenia spoločnosti Festo je, že systém rozpozná silu potrebnú na zdvihnutie doštičky z ESC. Tým sa výrazne znižuje riziko vzniku mikrotrhlín v plátku alebo dokonca jeho úplného rozbitia. Pneumatické riešenie je kompaktnejšie ako elektrické systémy a znižuje množstvo elektrických komponentov, ako sú motory v blízkosti komory, pretože požadovaný ventilový terminál a jeho ovládanie môžu byť polohovacím prvkom vo väčšej vzdialenosti od procesnej komory.
Odporúčané produkty: Ventilový terminál VTEP, riadiaca jednotka CPX-E, snímač SDAT
Toto riešenie výrazne znižuje vibrácie pri otváraní a zatváraní šupátkových ventilov, známych aj ako prenosové alebo štrbinové ventily. Systém umožňuje plynulý rozbeh a brzdenie bez vplyvu na čas cyklu. Týmto spôsobom sa dajú účinne ovládať aj uhlové ventily.
Výťah sa používa najmä v náterových systémoch. Systém zabezpečuje, aby bol substrát alebo plátok v procesnej komore zarovnaný do správnej polohy vzhľadom na plazmu a sprchovú hlavicu.
Okrem elektrických riešení ponúkame aj možnosť realizácie vyrovnania pomocou pneumatického pohonu. Výhodou je, že pneumatické riešenia majú vo všeobecnosti menšie rozmery a šetria zdroje tepla, ako sú kontroléry motora alebo motory.
Presná správna teplota je rozhodujúca pri mnohých procesoch výroby polovodičov. Na jednej strane musí byť elektrostatické skľučovadlo (ESC) presne vyhrievané, aby sa doštičky dostali na požadovanú teplotu pre stabilné a bezpečné procesy. Na druhej strane, systémové komponenty, ako je plazmový generátor alebo procesná komora, si vyžadujú chladenie, aby mohli dlhodobo spoľahlivo fungovať. Ventil VZXA spoľahlivo reguluje chladiace a vykurovacie médium v rozmedzí od -80 °C do +100 °C. Ventily sa môžu používať flexibilne - ako jednotlivé ventily alebo v prispôsobených blokoch ventilov.
Odporúčané produkty: Ventil so šikmým sedlom VZXA
Každá procesná komora, ako aj komora Load-Lock a prenosová komora majú veko, ktoré sa dá v prípade potreby otvoriť. Veko sa musí dať bezpečne otvoriť a zatvoriť kvôli údržbe alebo servisu. Spoločnosť Festo ponúka elektrické aj pneumatické riešenia, ktoré možno flexibilne integrovať do existujúcich systémov. V prípade potreby je možné pridať bezpečnostnú technológiu.
Zvládnite výzvy vašej výroby polovodičov s našimi automatizačnými riešeniami na mieru pre vákuové aplikácie. To vám umožní trvalo stabilizovať vaše súčasné procesy a zároveň zvýšiť kvalitu a časy cyklov a maximalizovať výnos.
S našimi technológiami sa môžete spoľahnúť na kvalitu, ktorá sa vám v konkurencii oplatí:
V našom článku na blogu "Redukcia dusíka vďaka ventilom s piezoelektrickou technológiou" sa dozviete, ako môžete znížiť spotrebu dusíka až o 75% pri cievkach FOUP s VEFC a VEAD. Tieto ventily boli špeciálne vyvinuté na dávkovanie inertných plynov a ponúkajú výhody, ako je vysoká dynamika, nízka tvorba častíc a dlhá životnosť.
Pri výrobe polovodičov si vysokovakuové procesy a zariadenia na výrobu plátkov (WFE), ako je depozícia, implantácia iónov alebo suché leptanie, vyžadujú obzvlášť vysoké štandardy čistoty, odplynenia a spoľahlivosti. Na tento účel ponúkame špeciálne vyvinuté automatizačné riešenia: pohony, ventily a manipulačné systémy kompatibilné s vákuom, ktoré pracujú presne a bezpečne aj v extrémnych podmienkach - napríklad pri vysokých teplotách alebo agresívnych médiách. Naše komponenty sú nízkoprahové a dajú sa flexibilne integrovať aj do stiesnených inštalačných priestorov. Vďaka našim dlhoročným skúsenostiam v polovodičovom priemysle vás podporíme pri navrhovaní efektívnych, reprodukovateľných a bezpečných procesov.
Bezpečná manipulácia s procesnými plynmi je pri procesoch s vysokým vákuom nevyhnutná. Ide zvyčajne o korozívne alebo reaktívne plyny, ktoré sú vždy zdraviu škodlivé. Kľúčom k úspechu príslušného procesného kroku je spravidla presná iniciácia s čo najlepšou presnosťou opakovania. To platí bez ohľadu na to, či ide o nosný plyn, čistiaci plyn alebo vlastný procesný plyn pre proces leptania alebo vysoko dynamický proces ALD (depozície atómových vrstiev). Spoločnosť Festo vám ponúka správne riešenie na hospodárne riadenie vašich pneumatických ventilov, ako sú klasické plynové tyče alebo ventily ALD pre vysokoteplotné aplikácie. Máme správnu technológiu ventilov pre každú aplikáciu.
Inteligentné ovládanie štrbinových ventilov, šróbení a prenosových ventilov výrazne znižuje vibrácie v nástroji a minimalizuje aj tvorbu častíc a ich zadrhávanie. Tým sa chráni aj tesnenie ventilu. Okrem štrbinových a ventilov možno pneumaticky ovládať aj uhlové ventily. Ďalšou dôležitou aplikáciou je regenerácia vákuových komôr, ako sú napríklad záťažové zámky. Úsporné kontroléry hmotnostného prietoku (MFC) spoločnosti Festo pre inertné plyny regenerujú spoľahlivo a šetrne.
Či už ide o 300 mm kremíkové doštičky, 150/200 mm SiC doštičky alebo panely v moderných obaloch - ponúkame špecializované riešenia na manipuláciu so substrátmi. Kľúčovou aplikáciou je náš pneumatický výťah pre komory s vysokým podtlakom. To umožňuje jemné posúvanie plátkov od jedného konca k druhému alebo polohovacie prvky v procese na úrovni mikrometrov - s kontrolovanou silou, minimálnym príkonom energie a bez ďalších kontrolérov motora v blízkosti komory. Medzi ďalšie riešenia patria podstavcové výťahy a kompaktné koncové efektory doštičiek s integrovanými zarovnávačmi na presné zarovnávanie v stiesnených priestoroch.
Presné riadenie teploty procesných plynov, substrátov a procesných komponentov je rozhodujúce pre kvalitu procesov povrchovej úpravy a leptania. Zvyšujúce sa teploty predstavujú pre výrobcov polovodičov čoraz väčšie výzvy. Ponúkame inteligentné riešenia na reguláciu teploty, pomocou ktorých je možné bezpečne a efektívne chladiť alebo temperovať napr. skľučovadlá na wafery (elektrostatické skľučovadlá / ESC), procesné komory alebo dokonca plazmové zdroje či RF generátory. Naše systémy umožňujú spoľahlivé riadenie teploty - pre stabilné procesy, vyššie výnosy a dlhšiu životnosť vašich systémov.