วาล์ว VEAD และ VEFC สามารถลดการใช้ไนโตรเจนได้มากถึง 75% เมื่อทำการล้างพ็อดแบบเปิดด้านหน้า (FOUP) โซลูชันดังกล่าวได้รับการออกแบบมาเพื่องานจ่ายก๊าซเฉื่อยโดยเฉพาะและมีข้อได้เปรียบ เช่น มีความคล่องแคล่วสูง การสร้างอนุภาคต่ำ และอายุการใช้งานยาวนาน
เนื่องจากเป็นนวัตกรรมทางเทคนิค Festo จึงใช้เครื่องพับเพียโซอิเล็กทริกในวาล์วควบคุมเหล่านี้ เทคโนโลยีนี้ช่วยให้สามารถควบคุมวาล์วได้อย่างแม่นยำและไม่จำกัดโดยใช้แรงดันไฟฟ้า การใช้เทคโนโลยีเพียโซ่ที่มีประสิทธิภาพยังช่วยลดการใช้พลังงานอีกด้วย โดยรวมแล้ว คุณสามารถลดการใช้ไนโตรเจนได้มากถึง 18% และลดการปล่อย CO2 ได้เกือบ 1/5