ระบบอัตโนมัติในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

การใช้งาน: การกำหนดค่าและควบคุมวงจรทำความเย็น

ความท้าทายของคุณ: ควบคุมตัวกลางทำความเย็นในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างน่าเชื่อถือ

วิธีแก้ปัญหาจาก Festo:

• วาล์วเทอร์มินอล VTUG และ VTOC (1) เพื่อการควบคุมวาล์วตัวกลางนิวเมติกที่น่าเชื่อถือ
• วาล์วเทอร์มินอลชนิด CPX-MPA หากในกรณีที่ต้องการ I/O เพิ่มเติม เพื่อเอาไปควบคุมวาล์วไฟฟ้า รวมเซ็นเซอร์ หรือตั้งค่าวงจรควบคุมแบบปิด นอกจากนี้ ด้วยสิ่งนี้ฟังก์ชันการวินิจฉัยและการบำรุงรักษาระยะไกลยังสามารถนำมาใช้ได้
• วาล์ว ระบบนิวเมติกหรือไฟฟ้าของประเภท VZXA, VZQA, VZWF (3) ควบคุมการไหลของตัวกลาง แม้จะอยู่ในวงจรปิด ตัวกลางที่เย็นจัดและ/หรือร้อนจัดก็สามารถควบคุมได้อย่างเชื่อถือได้และแม่นยำ
• โรตารี่ไดรฟ์ DFPD (4) หัวขับ บอลวาล์ว VZBF (5) และวาล์วปีกผีเสื้อ ซึ่งโดยทั่วไปจะใช้ในสายหลัก เช่นในสายป้อน/จ่ายของตัวกลางทำความเย็น/ควบคุมอุณหภูมิเนื่องจากอัตราการไหลที่สูง
• เซ็นเซอร์ประเภท SFAW (2) และ SPAW (6) วัดอัตราการไหลและอุณหภูมิของตัวกลางหรือแรงดันตัวกลางด้วยความแม่นยำที่สูง