กระบวนการทางบรรยากาศในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

สำหรับการจัดการเวเฟอร์ระหว่าง FOUP และ Load-Lock Festo ใช้ระบบ “Inverted Gantry” หุ่นยนต์คาร์ทีเซียน ตัวนี้รับประกันการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์อย่างปลอดภัยและรวดเร็วในสภาพแวดล้อมภายใต้บรรยากาศ โซลูชันนี้ช่วยประหยัดพื้นที่และยังสามารถรวมเข้ากับ EFEM ที่มีอยู่ได้อีกด้วย

ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ
เพลาไฟฟ้า ELGD

เครื่องจัดแนวเวเฟอร์ (Wafer Aligner) ที่เป็นเอกลักษณ์ระดับโลกของเรา รวม End-Effector และ Alignerไว้ในระบบขนาดกะทัดรัดเดียว โดดเด่นด้วยการจัดการอย่างอ่อนโยน การทำซ้ำที่เหมาะสม และ ขนาดพื้นที่ติดตั้งที่เล็กมาก โซลูชันระบบอัตโนมัติของเราวางเวเฟอร์ไว้บนส้อมโดยตรง ตรวจจับเครื่องหมายต่างๆ เช่น รอยบาก จัดตำแหน่งเวเฟอร์ให้เหมาะสม และโหลดเข้าในห้องกระบวนการอย่างแม่นยำ ด้วยการรวมขั้นตอนหลายขั้นตอนไว้ในโมดูลเดียว เวลาในการทำงานจึงลดลง EFEM ใช้พื้นที่น้อยลงอย่างมาก และจำนวนการหยิบเวเฟอร์ เช่น ความถี่ในการหยิบและวางเวเฟอร์ ก็ลดลงด้วย การจัดตำแหน่งแบบไร้สัมผัสทำได้โดยใช้เอฟเฟกต์แบร์นูลลี ด้วยวิธีนี้ยังช่วยให้สามารถพลิกเวเฟอร์และใส่กลับด้านในกระบวนการได้

การยกพินเวเฟอร์ช่วยให้สามารถวางตำแหน่งเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำและปราศจากการสั่นสะเทือนด้วยความแม่นยำถึงระดับไมโครเมตร ยังสามารถเคลื่อนย้ายซับสเตรตแบบ End-to-End โดยปราศจากการสั่นสะเทือน เพื่อหลีกเลี่ยงสิ่งที่เรียกว่าการเดินของเวเฟอร์ ข้อได้เปรียบที่สำคัญประการหนึ่งคือระบบจะตรวจจับแรงที่จำเป็นในการยกเวเฟอร์ เช่น จากอุปกรณ์จับเวเฟอร์แบบไฟฟ้าสถิต (ESC) ด้วยวิธีนี้ ความเสี่ยงของรอยร้าวขนาดเล็กในเวเฟอร์หรือแม้กระทั่งการแตกของเวเฟอร์ได้อย่างมาก โซลูชันระบบลมมีขนาดกะทัดรัดกว่าระบบไฟฟ้า ช่วยลดส่วนประกอบไฟฟ้า เช่น มอเตอร์และตัวควบคุมมอเตอร์ และยังช่วยลดการแผ่รังสีความร้อนด้วย เนื่องจาก วาล์วควบคุม ไม่จำเป็นต้องวางอยู่ใกล้กับห้องกระบวนการโดยตรง มอเตอร์เฉพาะทางสำหรับระบบสูญญากาศสูงสามารถควบคุมได้ด้วย วาล์วควบคุม ของ Festo เช่นกัน

ระบบสร้างและจัดเตรียมข้อมูลที่คุณสามารถใช้เพื่อตรวจสอบสภาพของระบบได้ สำหรับจุดประสงค์นี้ คุณสามารถใช้อัลกอริทึมที่มีอยู่ของ Festo AI Tool “Festo AX” และรวมเข้าในระบบของคุณเป็นโมดูลเดียวหรือเป็นระบบส่วนบุคคลทั้งหมดก็ได้

ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ
วาล์วเทอร์มินอล VTEP
การควบคุม CPX-E
เซนเซอร์ SDAT

โซลูชันการล้าง N2 ของเราสำหรับการสร้างและรักษาบรรยากาศที่สะอาดสามารถป้องกันการเกิดออกซิเดชันจากออกซิเจนในอากาศและการปนเปื้อนจากอนุภาคในอากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพ สำหรับการใช้งานแต่ละประเภท คุณจะพบระบบที่เหมาะสม ตั้งแต่การไหลขนาดเล็กไปจนถึงขนาดสูง เช่น สำหรับ FOUP พอร์ตโฟลิโอของเราประกอบด้วยตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) ในรูปแบบช่องทางเดียว รวมถึงวาล์วเทอร์มินอลที่มี MFC หลายตัวในรูปแบบโซลูชันหลายช่องทาง สำหรับ EFEMs, SMIF-/FOUP-Stocker หรือ Die-Banks เราเสนอโซลูชันการล้างที่มีขนาดกะทัดรัดเป็นพิเศษ ระบบสร้างข้อมูลที่คุณสามารถใช้เพื่อตรวจสอบสภาพของระบบ โดยเฉพาะระดับการปนเปื้อนของตัวกรองที่ใช้งานอยู่ หลีกเลี่ยงการหยุดทำงานของเครื่องจักรโดยไม่ได้วางแผนไว้และเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการของคุณให้มีประสิทธิภาพดียิ่งขึ้น

ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ
ตัวควบคุมการไหลของมวลของเรา VEMD, VEAD, VEFC, VTEP

ในการเคลือบซับสเตรตด้วยโฟโตเรซิสต์ (PR) ซึ่งบางครั้งมีต้นทุนสูง การควบคุมของเราในวาล์วจ่ายสารเพื่อความหนาของชั้นที่แม่นยำจะช่วยรับประกันคุณภาพการเคลือบ และด้วยเหตุนี้ จึงช่วยให้กระบวนการมีคุณภาพคงที่และทำซ้ำได้ รวมถึงความคุ้มค่าในการลงทุนสูงสุด ฟังก์ชันดูดกลับ ป้องกันไม่ให้หยดติดที่ด้านนอกของปลายหัวฉีด ด้วยเหตุนี้ วาล์ว ของเราจึงช่วยให้การจ่าย PR แม่นยำและสามารถดูดหยดสุดท้ายกลับได้ พร้อมทั้ง ปกป้องตัวกลางที่บอบบางจากออกซิเจนในอากาศ

ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ
วาล์วจ่ายสาร VEAB และ VTEP
โซลินอยด์วาล์วแยกส่วน VYKA/ VYKC
มอเตอร์ไฟฟ้า EPCO และ ERMO และเซ็นเซอร์ที่เกี่ยวข้อง

วาล์วและเซ็นเซอร์ของเราควบคุมตัวกลางในกระบวนการในโรงงานย่อย Hook-up และ WFE/เครื่องมือด้วยความแม่นยำสูงและมีประสิทธิภาพ ไม่ว่าจะเป็นสารละลายที่มีอนุภาคที่มีฤทธิ์กัดกร่อน สารเคมีที่มีฤทธิ์เป็นกรดหรือด่าง น้ำ DI หรือตัวทำละลาย ไม่ว่าการติดตั้งจะเกิดขึ้นในกล่องแห้ง ตู้ควบคุม หรือโดยตรงบนเครื่องมือ และไม่ว่าคุณจะมุ่งเน้นไปที่ขนาดพื้นที่ติดตั้งที่เล็ก, ความบริสุทธิ์ของอนุภาค, เวลาในการสลับที่รวดเร็ว หรือข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมพิเศษ เช่น อุณหภูมิสูงหรือการสัมผัสสารเคมี Festo นำเสนอโซลูชันวาล์วและการควบคุมที่เชื่อถือได้สำหรับทุกการใช้งาน เพื่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทนทานและมีความปลอดภัยในกระบวนการ

ระบบของเราสามารถสร้างข้อมูลที่คุณสามารถใช้เพื่อตรวจสอบสภาพของระบบได้ สำหรับจุดประสงค์นี้ คุณสามารถใช้อัลกอริทึมที่มีอยู่ของ Festo AI Tool “Festo AX” และรวมเข้าในระบบของคุณเป็นโมดูลเดียวหรือเป็นระบบส่วนบุคคลทั้งหมดก็ได้

ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ
วาล์ว VTOC, MH1, MHA2 และ VUVG/ VTUX
เซ็นเซอร์ SPTE, SPAN และ SPAF

ในการใช้ Bowl-Lift จะใช้มอเตอร์นิวเมติก ซึ่งสามารถแยกตัวกลางในกระบวนการแบบของเหลวได้อย่างแม่นยำนำกลับมาใช้ใหม่ หรือกำจัดอย่างควบคุมได้ ภาชนะรองรับแต่ละอัน (“Bowls” หรือ “Dishes”) จะถูกจัดตำแหน่งอย่างแม่นยำและยึดไว้อย่างปลอดภัย ขึ้นอยู่กับตัวกลางหรือความสูงในการฉีดที่ต้องการ พร้อมกันนี้ ระบบยังช่วยลดการสั่นสะเทือนและแรงสั่นในขณะทำงานของเครื่องจักรได้อย่างมาก

ระบบของเราสามารถสร้างข้อมูลที่คุณสามารถใช้เพื่อตรวจสอบสภาพของระบบได้ สำหรับจุดประสงค์นี้ คุณสามารถใช้อัลกอริทึมที่มีอยู่ของ Festo AI Tool “Festo AX” และรวมเข้าในระบบของคุณเป็นโมดูลเดียวหรือเป็นระบบส่วนบุคคลทั้งหมดก็ได้

ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ
วาล์วเทอร์มินอล VTEP
กระบอกสูบ DFM
การควบคุม CPX-E
เซนเซอร์ SDAT

ในระหว่างการขัดด้วยสารเคมีและกลไก (CMP)การควบคุมแบบนิวเมติกของเราช่วยให้แรงกดระหว่างเวเฟอร์กับโต๊ะขัดมีความไดนามิกและแม่นยำสูง วาล์วเพียโซควบคุมแรงดันแบบเรียลไทม์และช่วยให้สามารถกดและยกเวเฟอร์เป็นไปอย่างนุ่มนวลเป็นพิเศษ วาล์วทำงานร่วมกับเซนเซอร์ความดันของเราเพื่อให้ความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ

ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ
วาล์วเพียโซ VTEP และ VEAB
เซ็นเซอร์วัดแรงดัน SPAN
วาล์วโซลินอยด์แยกสื่อ VYKC

ในระบบกระบวนการแบบเปียก เช่น เครื่องทำความสะอาดแบบปั่น หรือสายเคลือบ สิ่งสำคัญคือประตูห้องกระบวนการจะต้องทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือ สิ่งสำคัญเป็นพิเศษในห้องสะอาด: ประตูต้องสามารถปกป้องเวเฟอร์จากการปนเปื้อนอย่างเชื่อถือได้แม้ในสถานการณ์ที่ไม่คาดคิด เช่น การขัดข้องของไฟฟ้าหรือระบบลม และตัวประตูก็ไม่ควรเป็นแหล่งของอนุภาคเอง โซลูชัน Door-Shutter ของเราประกอบด้วยกระบอกสูบกลมที่เชื่อถือได้และแม่นยำ พร้อมสารหล่อลื่นพิเศษสำหรับการเปิดและปิดอัตโนมัติ นอกจากนี้ ระบบล็อคแบบนิวแมติกของเรายังช่วยให้การล็อคที่ปลอดภัยอีกด้วย เซนเซอร์ที่ใช้ให้ข้อมูลย้อนกลับเกี่ยวกับตำแหน่งได้อย่างเชื่อถือได้

ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ
กระบอกทรงกลม DSNU
ระบบอินเตอร์ล็อค VOFA, VTOC, MH1, VUVG/ VTUG, VTUX
เซ็นเซอร์ SPTE, SPAN และ SPAF

เรามีโซลูชันเฉพาะมากมายสำหรับการจัดการ FOUPs, SMIF-Pods, ซับสเตรต และแผ่นแม่แบบ ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ที่มีการอัตโนมัติสูง ด้วยระบบเครนแบบกลับด้านของเรา เราทำให้สามารถเคลื่อนที่ใน EFEM ได้อย่างประหยัดพื้นที่และประหยัดต้นทุน ในขณะที่เครื่องจัดตำแหน่งเวเฟอร์อันเป็นนวัตกรรมของเราช่วยเร่งกระบวนการโหลดผ่านการจัดตำแหน่งแบบบูรณาการ ทำให้กระบวนการโหลดรวดเร็วขึ้น และช่วยลดเวลาในการทำงานต่อรอบ สำหรับ FOUP เราจัดหาระบบการล้าง N2 ที่มีประสิทธิภาพสูงพร้อมการควบคุมที่แม่นยำ ซึ่งมีให้เลือกใช้ทั้งในรูปแบบโซลูชันช่องสัญญาณเดียวหรือหลายช่องสัญญาณ ซึ่งช่วยให้คุณลดจำนวน I/O หรือใช้งาน MFC หลายตัวด้วยโมดูลบัสตัวเดียวได้ นอกจากนี้ เรายังพัฒนาระบบการล้างแบบกะทัดรัดสำหรับสต็อกเกอร์ SMIF/FOUP หรือ Die-Banksที่สามารถควบคุมอัตราการไหลที่ต่ำได้อย่างแม่นยำ และรักษาสภาพบรรยากาศที่บริสุทธิ์เพื่อปกป้องวัสดุ

เรามีโซลูชันเฉพาะสำหรับกระบวนการเปียก เช่น การเคลือบ PR (PR-Coating), การพัฒนา (Development), การล้างฟิล์ม (Strip) หรือการทำความสะอาดแบบหมุน (SpinClean) โซลูชันของเรา เช่น วาล์วและเซ็นเซอร์ สามารถควบคุมวาล์วความบริสุทธิ์สูงที่ทำจาก PFA, PTFE, PVDV หรือ PP หรือวาล์วความบริสุทธิ์สูงพิเศษที่ทำจากสแตนเลสได้อย่างแม่นยำและมีประสิทธิภาพ ด้วยการควบคุมที่อ่อนโยนเป็นพิเศษ ทำให้ใช้งานได้นานและมีอายุการใช้งานยาวนาน ระบบของเราสามารถสร้างข้อมูลที่คุณสามารถใช้เพื่อตรวจสอบสภาพของระบบได้ สำหรับจุดประสงค์นี้ คุณสามารถใช้อัลกอริทึมที่มีอยู่ของ Festo AI Tool “Festo AX” และรวมเข้าในระบบของคุณเป็นโมดูลเดียวหรือเป็นระบบส่วนบุคคลทั้งหมดก็ได้
ไม่ว่าจะติดตั้งในกล่องแห้ง ตู้ควบคุม หรือโดยตรงบนเครื่องมือ และไม่ว่าจุดสนใจของคุณจะอยู่ที่ การประหยัดพื้นที่, ความบริสุทธิ์ของอนุภาค, เวลาในการสวิตช์ที่รวดเร็ว หรือสภาพแวดล้อมพิเศษ เช่น อุณหภูมิสูงหรือการสัมผัสสารเคมี เรามีโซลูชันที่เหมาะสมสำหรับทุกการใช้งาน จ่ายสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ในขณะที่วาล์วที่มีฟังก์ชันดูดกลับจะช่วยป้องกันไม่ให้หยดในระหว่างการจ่าย PR และควบคุมปริมาณตัวกลางได้อย่างแม่นยำ สำหรับกระบวนการทำความสะอาดแบบหมุน เราจัดหาระบบขับเคลื่อนลมที่ควบคุม Bowl-Liftและเคลื่อนย้ายแผ่นกันน้ำกระเซ็นหรือตัวแยกตัวกลางอย่างต่อเนื่องไปยังตำแหน่งที่ต้องการ ด้วยวิธีนี้ เราจึงสนับสนุนการจัดการกระบวนการที่ปลอดภัย มีประสิทธิภาพ และปราศจากการปนเปื้อน และด้วยการทำเช่นนี้ เราก็ได้มีส่วนสนับสนุนเล็กๆ น้อยๆ ต่อกระบวนการผลิตที่ยั่งยืน ด้วยการใช้เทคโนโลยีวาล์วที่ทันสมัย Festo สามารถช่วยคุณประหยัดพลังงานไฟฟ้าได้โดยตรง และลดการปล่อยก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์ (CO2) ของคุณ เรายินดีที่จะร่วมเดินทางไปกับคุณสู่ “โรงงานสีเขียว”

เราเสนอโซลูชันพิเศษสำหรับกระบวนการ CMP ที่ต้องการความแม่นยำและไดนามิกสูงสุด โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง วาล์วเพียโซความแม่นยำสูงของเราช่วยให้สามารถควบคุมแรงกดได้อย่างแม่นยำ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการกำจัดวัสดุที่ควบคุมได้และสม่ำเสมอ ด้วยวิธีนี้ เราไม่เพียงแต่สนับสนุนคุณภาพกระบวนการและลดของเสียให้น้อยที่สุด แต่ยังช่วยลดระยะเวลากระบวนการของคุณอีกด้วย นอกจากนี้ เรายังพัฒนาโซลูชั่นที่ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพและความพร้อมใช้งานของระบบ CMP เช่น การเชื่อมต่อกับแผ่นปรับสภาพหรือส่วนประกอบระบบอัตโนมัติอัจฉริยะ

เรามีโซลูชันครบวงจรสำหรับระบบอัตโนมัติในทุกพื้นที่และทุกขั้นตอนของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ในโรงงานนวัตกรรม เราสนับสนุนความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีด้วยการวิจัยและผลิตภัณฑ์บุกเบิกของเรา ใน SubFab เราตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีการจัดหาตัวกลางที่เชื่อถือได้และกระบวนการที่เสถียร เช่น การบำบัดน้ำเสียหรือก๊าซไอเสีย ตั้งแต่วาล์วที่แม่นยำและระบบขับเคลื่อนอัจฉริยะไปจนถึงระบบการจัดการแบบครบวงจร โซลูชันระบบอัตโนมัติของเรามีส่วนสนับสนุนอย่างน่าเชื่อถือในการทำให้กระบวนการผลิตมีเสถียรภาพมากขึ้น รวดเร็วขึ้น และประหยัดพลังงานมากขึ้น

ใช้ประโยชน์จาก ข้อมูล ที่โซลูชันของเราสร้างขึ้น เพื่อตรวจสอบสถานะเครื่องจักรหรือปรับปรุงกระบวนการผลิตของคุณโดยใช้โซลูชัน AI ของ Festo “Festo AX” ซึ่งสามารถนำมาใช้เป็นโมดูลเดียวสำหรับแอปพลิเคชันเฉพาะ หรือเป็นโซลูชันครบวงจรที่ปรับแต่งได้สำหรับระบบของคุณ

ลดการใช้พลังงานในโรงงานของคุณและทั่วทั้งโรงงานด้วยการใช้เทคโนโลยีล้ำสมัยของ Festo ประหยัดสองเท่ากับเรา! ลดการใช้พลังงานของระบบและเพิ่มประสิทธิภาพการใช้ลมอัด/CDA และก๊าซเฉื่อย เราพร้อมสนับสนุนคุณในภารกิจลดการปล่อยก๊าซ CO2

เรานำเสนอโซลูชั่นนวัตกรรมสำหรับการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงซึ่งมีบทบาทสำคัญในชิปเล็ตสมัยใหม่ เช่น HBM สำหรับกระบวนการต่างๆ เช่น การฟลิปชิปหรือการยึดติดแบบฟิวชั่น/ไฮบริด เราจัดหาตัวกระตุ้นการจัดการที่แม่นยำเพื่อป้องกันการบีบออกในการยึดติดด้วยกาว ได้รับประโยชน์จากตัวกระตุ้นที่แม่นยำซึ่งคุณสามารถใช้เพื่อรับรู้การเคลื่อนไหวที่แม่นยำด้วยความแม่นยำ 1µm
วัดความโก่งงอของเวเฟอร์ (เวเฟอร์ที่โค้งงอ) และดึงตรงเข้าสู่หัวจับของคุณ

ตรวจสอบกระบวนการและสถานะเครื่องจักรด้วย Festo AX รับสิทธิประโยชน์จากเทคโนโลยี Festo ที่เป็นนวัตกรรมใหม่ในเครื่อง Fusion-/Hybrid Bonderของคุณ และเพิ่มความน่าเชื่อถือและคุณภาพของกระบวนการในการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงที่มีความต้องการสูง