Bu ortamlar için, ortamın hassas kontrolü, gofretlerin nazikçe taşınması ve kuvvetlerin, basınçların ve hareket profillerinin hassas kontrolü için yenilikçi çözümler sunuyoruz. Burada odak noktası minimum partikül oluşumu, yüksek proses kararlılığı ve verimli entegrasyondur. İster ham substratlar, retiküller/ SMIF'ler, FOUP'lar, ister flip-chip ve hibrit yapıştırma gibi gelişmiş paketleme uygulamalarında bitmiş işlenmiş wafer'lar veya kalıp bankaları olsun - Festo ile süreçlerinizi güvenli, verimli ve ölçeklenebilir bir şekilde otomatikleştirebilirsiniz.
Atmosferik ortamdaki uygulamalar
Yonga taşıma: yerden tasarruf sağlayan transfer
Festo, FOUP ve Load-Lock arasında gofret taşıma için bir "ters gantri "ye güveniyor. Bu Kartezyen Robot, yongaların atmosferik bir ortamda güvenli ve hızlı bir şekilde hareket etmesini sağlar. Çözüm yerden tasarruf sağlar ve mevcut EFEM'lere de entegre edilebilir.
Tavsiye edilen ürünler:
Elektrikli eksen ELGD
Wafer Hizalayıcı: birkaç adım bir arada
Dünya çapında benzersiz wafer hizalayıcımız uç efektörü ve hizalayıcıyı tek bir kompakt sistemde birleştirir. Nazik kullanımı, optimum tekrarlanabilirliği ve son derece düşük ayak izi ile puan kazanır. Otomasyon çözümümüz gofreti doğrudan çatal üzerinde konum işaretleyicisi olarak konumlandırır, çentikler gibi işaretleri tanır, gofreti uygun şekilde hizalar ve proses haznesine tam isabetle yükler. Tek bir Modül'de birkaç adımın bu kombinasyonu döngü sürelerini azaltır, EFEM önemli ölçüde daha az alan gerektirir ve gofret alma sayısı, yani gofretin ne sıklıkta alınıp bırakıldığı azalır. temassız hizalama Bernoulli etkisi kullanılarak elde edilir. Bu, gofretin aynı zamanda döndürülebileceği ("çevrilebileceği") ve prosese baş aşağı yerleştirilebileceği anlamına gelir.
Akıllı Forklift: Kuvvet algılama ile hassasiyet
Gofretler için Forklift, gofretin bir mikrometreye kadar hassasiyetle hassas ve titreşimsiz konumlandırılmasını sağlar. wafer walk olarak adlandırılan durumdan kaçınmak için alt tabakanın titreşimsiz uçtan uca hareketi de mümkündür. Sistemin en büyük avantajı, örneğin bir elektro-statik gofret aynasından (ESC) yongaları kaldırmak için gereken kuvveti tanımasıdır. Bu da yonga plakasında mikro çatlaklar oluşması ve hatta yonga plakasının tamamen kırılması riskini önemli ölçüde azaltır. Pnömatik bilim, elektrikli sistemlere göre daha kompakttır, motorlar ve motor sürücüleri gibi elektrikli bileşenleri ve dolayısıyla kontrol Valflerinin doğrudan proses odasının yanına konum işaretleyicisi olması gerekmediğinden ısı radyasyonunu azaltır. Yüksek vakum için özel tahrikler Festo kontrol Valfleri ile de kontrol edilebilir.
Sistem, sistemin durumunu izlemek için kullanabileceğiniz verileri üretir ve sağlar. Bunu yapmak için, Festo AI aracı "Festo AX"'deki mevcut algoritmaları kullanabilir ve bunları sisteminize ayrı modüller veya tamamen kişiselleştirilmiş bir sistem olarak entegre edebilirsiniz.
Tavsiye edilen ürünler:
Ventilinsel VTEP
Kontrol CPX-E
Sensör SDAT
N2 MFC ile Tahliye: En aza indirilmiş ayak izi ile saflık
temiz atmosferlerin üretici ve korunmasına yönelik N2 temizleme çözümlerimiz atmosferik oksijenin neden olduğu oksidasyonu ve havadaki partiküllerin neden olduğu kontaminasyonu güvenilir bir şekilde önler. Düşük debiden yüksek debiye kadar her uygulama için doğru sistemi bulacaksınız, örneğin FOUP'lar için. Portföyümüzde tek kanallı kütle akış kontrolörleri (MFC) ve çok kanallı bir çözüm olarak birkaç MFC'li valf terminalleri bulunmaktadır. EFEM'ler, SMIF/ FOUP stoklayıcılar veya kalıp bankaları için, özellikle kompakt bir ayak izine sahip temizleme çözümleri sunuyoruz. Sistem, sistemin durumunu, özellikle de kullanılan filtrelerin kirlenme derecesini izlemek için kullanabileceğiniz veriler üretir. Planlanmamış makine duruşlarını önleyin ve sürecinizi daha da optimize edin.
Tavsiye edilen ürünler:
Kütle akış kontrolörlerimiz VEMD, VEAD, VEFC, VTEP
Çene kontrollü fotorezist (PR) kaplama
Substratları fotorezistlerle (PR) kaplarken, diğer şeylerin yanı sıra maliyet yoğun olabilir, Dozajlama Valfi kontrollerimiz hassas katman kalınlıkları sağlar. Ve böylece istikrarlı ve tekrarlanabilir proses kalitesi ve optimum ekonomik verimlilik için. suck-back fonksiyonu damlacıkların nozul ucunun dışına sıkışmasını önler. Valflerimiz hassas PR dağıtımı ve son damlanın geri çekilmesini sağlar, böylece hassas medyayı atmosferik oksijenden korur.
Tavsiye edilen ürünler:
Dozajlama Valfleri VEAB ve VTEP
Akışkandan ayrı solenoid valfler VYKA/ VYKC
EPCO ve ERMO elektrikli tahrikler ve ilgili sensörler
Proses ortamını kontrol edin: güvenilir valf ve sensör sistemleri
Valflerimiz ve sensörlerimiz, alt kabindeki, bağlantıdaki ve WFE/araçtaki proses ortamını yüksek hassasiyet ve verimlilikle kontrol eder. İster aşındırıcı partiküllü bulamaç, ister asitler veya alkaliler gibi ıslak kimyasallar, DI su veya çözücüler olsun - kurulumun kuru bir kutuda, bir Kontrol kabininde veya doğrudan alet üzerinde gerçekleşip gerçekleşmediğine bakılmaksızın - ve odak noktanızın minimize edilmiş ayak izi, partikül saflığı, hızlı anahtarlama süreleri veya yüksek sıcaklık veya kimyasallara maruz kalma gibi özel çevresel gereksinimler olup olmadığına bakılmaksızın: Festo her uygulama için güvenilir valf ve kontrol çözümleri sunar - uzun ömürlü ve güvenilir yarı iletken üretimi için.
Sistemlerimiz, sistemin durumunu izlemek için kullanabileceğiniz veriler üretebilir. Bunu yapmak için, Festo AI aracı "Festo AX"'deki mevcut algoritmaları kullanabilir ve bunları sisteminize ayrı modüller veya tamamen kişiselleştirilmiş bir sistem olarak entegre edebilirsiniz.
Tavsiye edilen ürünler:
Valfler VTOC, MH1, MHA2 ve VUVG/ VTUX
Sensörler SPTE, SPAN ve SPAF
Çanak Forklift: Pnömatik Bilimi Mikro konumlandırma
Forklift olarak adlandırılan bu sistemde, sıvı proses ortamının özel olarak ayrılabildiği, yeniden kullanılabildiği veya kontrollü bir şekilde bertaraf edilebildiği pnömatik bilimi tahrikleri kullanılmaktadır. İlgili toplama kapları ("kaseler"), ortama veya gerekli püskürtme yüksekliğine bağlı olarak hassas bir şekilde konumlandırılır ve güvenli bir şekilde tutulur. Sistem aynı zamanda, sistemin çalışması sırasında titreşimlerin ve şokların önemli ölçüde azaltılmasına yardımcı olur.
Sistemlerimiz, sistemin durumunu izlemek için kullanabileceğiniz veriler üretebilir. Bunu yapmak için, Festo AI aracı "Festo AX"'deki mevcut algoritmaları kullanabilir ve bunları sisteminize ayrı modüller veya tamamen kişiselleştirilmiş bir sistem olarak entegre edebilirsiniz.
Tavsiye edilen ürünler:
Ventilinsel VTEP
Zylinder DFM
Kontrol CPX-E
Sensör SDAT
Polisaj uygulamaları için hassas basınç kontrolü ve kuvvet ayarı
Kimyasal Mekanik Parlatmada (CMP), pnömatik bilimimiz yongave alıştırma masası arasında dinamik ve son derece hassas bir baskı kuvveti sağlar. Valfler basıncı gerçek zamanlı olarak düzenler ve gofretlerin özellikle hassas bir şekilde bastırılmasını ve kaldırılmasını sağlar. Valfler, basınç Sensörlerimizle birlikte özellikle yüksek düzeyde doğruluk sağlar.
Tavsiye edilen ürünler:
Valfler VTEP ve VEAB
Drucksensor SPAN
Akışkandan ayrı solenoid valf VYKC
Kapı Panjuru: Oransal hareket kontrolü
Spin temizleyiciler veya kaplayıcı hatları gibi ıslak proses sistemlerinde, proses odasına açılan kapının güvenilir bir şekilde çalışması önemlidir. Temiz odada özellikle önemlidir: Güç veya hava kaynağı arızası gibi beklenmedik koşullar altında bile gofretleri kontaminasyondan güvenilir bir şekilde korumalı ve kendisi bir partikül kaynağı olmamalıdır. Kapı panjuru çözümlerimiz, normalde kapalı kontakt ve otomatik olarak açma ve kapama için özel yağlayıcılara sahip güvenilirlik ve hassaslık sağlayan güvenilir ve hassas Yuvarlak Silindirler içerir. Pnömatik bilimlerimizin kilitleme sistemleri de güvenli kilitleme sağlar. Kullanılan sensörler konum hakkında güvenilir geri bildirim sağlar.
Tavsiye edilen ürünler:
Yuvarlak Silindir DSNU
Kilitleme sistemleri VOFA, VTOC, MH1, VUVG/ VTUG, VTUX
Sensörler SPTE, SPAN ve SPAF
Başarınız bizim hedefimizdir: Atmosferik süreçleriniz için akıllı otomasyonla sizi destekliyoruz
Güç elektroniği, MEMS, mantık veya bellek çipleri olup olmadığına ve gofretlerin silikon, safir veya SiC'den (silikon karbür) yapılıp yapılmadığına bakılmaksızın yarı iletkenlerin üretimindeki uzmanlığımızdan yararlanın. FOUP elleçleme, PR dağıtımı veya CMP gibi uygulamalarınızda size özel danışmanlık yapalım. Birlikte, gereksinimlerinize ve sistem mimarinize mükemmel şekilde uyan çözümler geliştiriyoruz.
Karşılaştığınız zorlukları biliyor ve kalıcı başarıya ulaşmanıza yardımcı olacak çözümlerle sizi destekliyoruz:
- Optimize edilmiş ön uç: Ters gantri sistemimiz ile EFEM performansını artırın. Taşıma sistemi özellikle yerden tasarruf sağlar, dayanıklıdır ve geleneksel Robotlara uygun maliyetli bir alternatiftir.
- Dayanıklı valfler: PTFE ve PFA'dan yapılmış pnömatik valflerin hassas ve nazik çalıştırılması ve kontrolü hakkında bizimle konuşun.
- Damlama yok: Çeneli valflerimiz damlamayı önler ve böylece hassas PR dağıtımı sağlar.
- Hassas malzeme kaldırma: Yenilikçi hassas valflerimizle, hızlı ve hassas malzeme kaldırma için temas basıncını tam olarak düzenleyebilirsiniz.
Doğru mühendislik aracıyla hızlı ürün seçimi
Nitrojen ve enerji tüketimini azaltın
Yarı iletken endüstrisindeki fiyat baskısına karşı koyabilirsiniz! Sürdürülebilir şekilde azaltılmış nitrojen ve enerji tüketimi, yarı iletken üretirken karbon ayak izinizi de iyileştirir.
SSS
PR kaplama, ıslak temizleme ve CMP gibi atmosferik prosesler için ne gibi çözümler sunuyoruz?
PR kaplama, pozlama, geliştirme, ıslak prosesler ve CMP gibi yarı iletken üretimindeki atmosferik prosesleri, örneğin substrat veya retikül/maske taşıma için ters gantri sistemleri, Plastik veya Paslanmaz Çelikten yapılmış yüksek saflıkta valfler gibi ortam valflerinin hassas ve güvenilir kontrolü ve düzenlenmesi için valf teknolojisi ve kompakt pnömatik ve elektrikli tahrikler gibi hassas otomasyon çözümleriyle destekliyoruz. Çözümlerimizi örneğin gerçek proses aracında, aynı zamanda FOUP'lar, SMIF'ler veya retiküller/maskeler için temizleme ve taşıma sistemleri gibi çevresel ekipmanlarda ve gelişmiş ambalajlamada FlipChip veya hibrit yapıştırma gibi modern ambalajlama adımları için depolama teknolojisi ve çözümlerinde bulacaksınız.
Festo, FOUP veya SMIF podları veya substrat veya retikül işleme için özel çözümler sunuyor mu?
Yüksek otomasyonlu yarı iletken fabrikalarında FOUP'ların, SMIF podlarının, alt tabakaların ve retiküllerin işlenmesi için çok sayıda özel çözüm sunuyoruz. Ters gantri sistemimizle EFEM'de yerden tasarruf sağlayan ve ekonomik hareketler gerçekleştirirken, yenilikçi wafer hizalayıcımız entegre hizalama yoluyla yükleme sürecini hızlandırır ve böylece döngü sürelerini kısaltır. FOUP'lar için, I/O sayısını azaltmanıza veya tek bir veri yolu Modülü ile birkaç MFC'yi çalıştırmanıza yardımcı olan, isteğe bağlı olarak tek veya çok kanallı bir çözüm olarak hassas kontrollü yüksek performanslı N2 temizleme sistemleri tedarik ediyoruz. Ayrıca SMIF/ FOUP tıpalar veya kalıp bankaları için düşük akış hızlarını bile hassas bir şekilde kontrol eden ve saf bir koruyucu atmosfer sağlayan kompakt tahliye sistemleri geliştiriyoruz.
Festo'nun PR kaplama, geliştirme ve şeritleme veya SpinClean gibi ıslak prosesler için özel çözümleri var mı?
PR kaplama, geliştirme, şerit veya SpinClean gibi ıslak prosesler için özel çözümler sunuyoruz. Valfler ve sensörler gibi çözümlerimiz, PFA, PTFE, PVDV veya PP'den yapılmış yüksek saflıktaki valflerinizi veya paslanmaz çelikten yapılmış ultra yüksek saflıktaki valflerinizi yüksek hassasiyet ve verimlilikle kontrol eder ve ayrıca özellikle hassas çalıştırma sayesinde uzun bir hizmet ömründen yararlanırsınız. Sistemlerimiz, sistemin durumunu izlemek için kullanabileceğiniz veriler üretebilir. Bunu yapmak için Festo AI aracı "Festo AX "teki mevcut algoritmaları kullanabilir ve bunları sisteminize ayrı modüller veya tamamen kişiselleştirilmiş bir sistem olarak entegre edebilirsiniz.
İster kuru bir kutuya, ister Kontrol kabinine veya doğrudan aletin üzerine kurulsun, odak noktanız ister minimum ayak izi, ister partikül saflığı, ister hızlı anahtarlama süreleri, ister yüksek sıcaklık veya kimyasallara maruz kalma gibi özel çevresel gereksinimler olsun, her uygulama için doğru çözümü sunuyoruz. Agresif kimyasalları dozaj aleti olarak kullanırken, geri emme işlevine sahip valfler PR dağıtımı sırasında damlamayı önler ve tam medya miktarları sağlar. Spin-temizleme prosesleri için, Forklift'i kontrol eden ve sıçrama korumasını veya ortam ayırıcıyı sürekli olarak gerekli konuma hareket ettiren pnömatik bilim tahrikleri tedarik ediyoruz. Bu şekilde güvenli, verimli ve kontaminasyonsuz süreç yönetimini destekliyoruz. Ve böylece sürdürülebilir bir üretim sürecine küçük bir katkıda bulunun. Yenilikçi valf teknolojisini kullanarak, Festo ile doğrudan elektrik enerjisinden tasarruf edebilir ve böylece CO2 ayak izinizi azaltabilirsiniz. "Yeşil fabrika" olma yolunda size eşlik etmekten mutluluk duyacağız.
Festo CMP prosesleri veya makineleri için özel çözümler sunuyor mu?
Özellikle gelişmiş ambalajlamada maksimum hassasiyet ve dinamik gerektiren CMP prosesleri için özel çözümler sunuyoruz. Yüksek hassasiyetli piezo valflerimiz, kontrollü ve eşit malzeme kaldırma için çok önemli olan temas basıncının tam olarak kontrol edilmesini sağlar. Bu şekilde sadece proses kalitesini ve ıskartaların en aza indirilmesini desteklemekle kalmıyor, aynı zamanda proses sürelerinizin kısaltılmasına da yardımcı oluyoruz. Ayrıca CMP sistemlerinin verimliliğini ve kullanılabilirliğini artıran çözümler de geliştiriyoruz, örneğin kondisyonlama pedleri veya akıllı otomasyon bileşenleri ile birlikte.
Festo genel yarı iletken fabrika otomasyonu için neler sunuyor?
Semicon fabrikasındaki tüm alanların ve süreç adımlarının otomasyonu için kapsamlı çözümler sunuyoruz. Örneğin yenilikçi tesislerde, araştırmalarımız ve öncü ürünlerimizle teknolojik ilerlemeyi destekliyoruz. SubFab'da, güvenilirlik ve atık su veya atık gazların arıtılması gibi istikrarlı süreçler sağlıyoruz. Hassas valfler ve akıllı tahriklerden komple taşıma sistemlerine kadar otomasyon çözümlerimiz, üretim süreçlerinin daha istikrarlı, daha hızlı ve daha enerji verimli hale getirilmesine güvenilir bir katkı sağlamaktadır.
Çözümlerimizin ürettiği verileri kullanın ve makine durumunu izleyin veya prosesinizi optimize edin - Festo AI çözümleri "Festo AX "i özel bir uygulama için ayrı bir modül olarak veya sisteminiz için kişiselleştirilmiş genel bir çözüm olarak kullanın.
Yenilikçi Festo teknolojisini kullanarak sisteminizdeki ve tüm fabrikadaki enerji tüketimini azaltın. Bizimle iki kez tasarruf edin! Sisteminizin güç tüketimini azaltın ve basınçlı hava/CDA ve inert gazların tüketimini optimize edin. CO2 ayak izini azaltma görevinizde size eşlik ediyoruz.
Festo gelişmiş paketleme için çözümler sunuyor mu?
HBM gibi modern chiplerde merkezi bir rol oynayan gelişmiş paketleme için yenilikçi çözümler sunuyoruz. Flip-chip veya füzyon/hibrit yapıştırma gibi prosesler için, yapışkan yapıştırmada "sıkışmaları" önlemek amacıyla hassas taşıma aktüatörleri tedarik ediyoruz. 1µm hassasiyetle hassas hareketler gerçekleştirebileceğiniz hassas aktüatörlerden yararlanın.
Gofretlerin bükülmesini ölçün (çarpık gofretler) ve bunları aynanızın üzerine çekin.
Festo AX ile süreçleri ve makine durumunu izleyin. Füzyon / hibrit bağlayıcınızda yenilikçi Festo teknolojisinden yararlanın ve zorlu gelişmiş ambalajlarda proses güvenilirliğini ve kalitesini artırın.