在沖洗前開式晶圓傳送盒(FOUP) 時，透過使用閥門 VEAD 和 VEFC，可將氮氣消耗減少多達 75%。這些解決方案專為惰性氣體分配應用而設計，具有高動態、顆粒形成少和長壽命等優點。

做為一項技術創新，Festo 在這些控制閥中使用壓電彎曲片。該技術可透過施加電壓實現對閥門的連續精確控制。 透過使用高效壓電技術也能大幅度降低功耗。整體可節省高達 18% 的氮氣總消耗量，並減少近 1/5 的 CO_₂ 排放量。

全內容一覽

電子行業自動化