在狹窄空間內實現高精度、高動態壓力控制
新款比例閥島 VTEP 是對受控氣動產品組合的強大補充。它的亮點在於結構極其精巧，可在低流量下實現多通道壓力控制。最多可同時控制 5 個閥門和 10 個工作通道的壓力和真空。VTEP 不含銅、鎳和鋅，是電子和半導體、生命科學、紡織和電池生產等眾多行業的明智選擇。
適合多種應用
高精度、力控拋光
拋光裝置上各個拋光室的可變接觸壓力受到高精度控制，即使在使用 VTEP 拋光晶圓時，也能確保出色的拋光效果。
對浮動軋輥進行精確控制
從小到大的路徑控制：在出現意外力量的情況下，也能進行完美調整，提高製程可靠性。例如，VTEP 適用於電池薄膜的路徑控制。
用於過程自動化的嚮導閥
VTEP 等閥門也可用作介質閥的嚮導閥。例如，在光刻技術中，必須非常精確地用耐光漆密封晶圓。回吸功能可避免多餘的漆液溢出。
透過壓力或真空進行分裝、分配或泵送
藉由 VTEP，可利用壓力和真空實現貼片夾緊等應用。還有油漆、黏膠劑或用於測試和分析的液體，均可根據特定的配方實現高精度的分配。而這一點，無論是電動自動化還是標準氣動系統都無法做到。
