Контейнери FOUP забезпечують закрите середовище для транспортування та зберігання напівпровідникових пластин між етапами технологічного процесу. Продування азотом (N₂) допомагає підтримувати необхідну захисну атмосферу всередині контейнерів FOUP та обмежувати вплив атмосферного кисню й забруднювальних частинок, що містяться в повітрі.

Завдання полягає не лише в зменшенні витрати азоту. Витрата має відповідати вимогам процесу продування, щоб уникнути його надмірного споживання.

Тому точне регулювання витрати й тиску азоту має вирішальне значення для забезпечення надійного реагування системи подачі газу на зміну умов технологічного процесу.

П’єзоелектричні згинальні елементи перетворюють електричну напругу на точне механічне переміщення. Це дає змогу безперервно й точно регулювати тиск або витрату за мінімального споживання електроенергії.

Пропорційний клапан регулювання тиску VEAD і система керування масовою витратою VEFC використовують цей принцип для керування подачею інертних газів, як-от азоту. Завдяки точному регулюванню, швидкому реагуванню та мінімальному утворенню частинок вони підходять для технологічних процесів виробництва напівпровідників із високими вимогами до чистоти.

За постійної або високої витрати азоту часто подається більше, ніж насправді потрібно. Керування на основі п’єзоелектричної технології дає змогу точніше регулювати витрату азоту (N₂) відповідно до фактичних потреб технологічного процесу.

У прикладі розрахунку Festo регулювання витрати газу дало змогу зменшити її під час продування одного контейнера FOUP з 20 до 5 стандартних літрів за хвилину (SLPM), тобто на 75 %. Фактична економія залежить від вимог процесу та умов експлуатації.

Керування тиском або потоком за допомогою п’єзоелектричної технології може бути особливо корисним, якщо технологічний процес потребує:

• Точне регулювання подачі азоту для підтримання заданої захисної атмосфери
• Динамічне регулювання витрати або тиску відповідно до змін технологічних вимог
• Незначне утворення частинок у виробничих середовищах із високими вимогами до чистоти
• Низьке споживання електроенергії для ефективного регулювання подачею газу

Продування контейнерів FOUP є частиною ширшого технологічного процесу виробництва напівпровідників. Вимоги до автоматизації залежать від обладнання та ділянки технологічного процесу.

Щоб дізнатися більше про застосування обладнання для осадження тонких плівок, травлення, іонної імплантації та інших операцій оброблення напівпровідникових пластин, ознайомтеся з високовакуумними процесами у виробництві напівпровідників.

Щоб дізнатися більше про продування контейнерів FOUP та інші процеси продування азотом (N₂) за атмосферного тиску, ознайомтеся з відповідними технологічними процесами у виробництві напівпровідників.