Для обробки пластин між FOUP і Load-Lock компанія Festo використовує систему «перевернута портальна машина» (Inverted Gantry). Цей декартовий робот забезпечує безпечне і швидке переміщення пластин в атмосферному середовищі. Рішення економить місце і може бути інтегроване в існуючі EFEM.

Рекомендовані продукти:
Електрична вісь ELGD

Наш унікальний у світі вирівнювач пластин поєднує кінцевий ефектор і вирівнювач в одній компактній системі. Він набирає бали за дбайливе поводження, оптимальну відтворюваність і надзвичайно малу площу займаної поверхні. Наше автоматизаційне рішення позиціонує пластину безпосередньо на вилці, розпізнає маркування, наприклад, надрізи (notches), вирівнює пластину відповідно та точно завантажує її в процесну камеру. Таке поєднання декількох етапів в одному модулі зменшує час циклу, EFEM потребує значно менше місця, а кількість підхоплень підкладок, тобто як часто піднімають і опускають підкладку, зменшується. безконтактне вирівнювання досягається за допомогою ефекту Бернуллі. Це означає, що пластину також можна перевертати і вставляти в процес догори дном.

Навантажувач для пластин забезпечує точне і безвібраційне позиціонування пластини з точністю до одного мікрометра. Також можливо здійснити безперервне рухання субстрату без вібрацій, щоб уникнути так званого «вафер-вок» (Wafer-Walk). Основною перевагою є те, що система розпізнає силу, необхідну для підйому пластини, наприклад, з електростатичного патрона для пластин (ESC). Це значно зменшує ризик появи мікротріщин на пластині або навіть повного пошкодження пластини. Пневматичне рішення компактніше, ніж електричні системи, зменшує кількість електричних компонентів, таких як двигуни і контролери двигунів, а отже, і теплове випромінювання, оскільки регулятори не потрібно розташовувати безпосередньо поруч з технологічною камерою. Спеціалізовані приводи для високого вакууму також можуть управлятися за допомогою регуляторів Festo.

Система генерує та надає дані, які ви можете використовувати для моніторингу стану системи. Для цього ви можете використовувати існуючі алгоритми з інструменту штучного інтелекту Festo "Festo AX" та інтегрувати їх у вашу систему як окремі модулі або як цілу, персоналізовану систему.

Рекомендовані продукти:
Пневмоострів VTEP
Керування CPX-E
Давач SDAT

Наші рішення для продувки N2 для створення і підтримки чистоти атмосфери надійно запобігають окисленню атмосферним киснем і забрудненню частинками, що містяться в повітрі. Ви знайдете відповідну систему для будь-якого застосування, від низьких до високих витрат, наприклад, для FOUP. У нашому портфоліо є регулятори масової витрати (MFC) в одноканальному виконанні та клапанні термінали з декількома MFC в багатоканальному виконанні. Для EFEM, SMIF/ FOUP стокерів або штампів ми пропонуємо рішення для очищення з особливо компактними розмірами. Система генерує дані, які можна використовувати для моніторингу стану системи, зокрема ступеня забруднення використовуваних фільтрів. Уникайте незапланованих простоїв обладнання та оптимізуйте свій процес.

Рекомендовані продукти:
Наші регулятори масового витрати VEMD, VEAD, VEFC, VTEP

При нанесенні на підкладки фоторезистів (PR), що, крім усього іншого, може бути дорогим, наші контролери дозуючих клапанів забезпечують точну товщину шару. А отже, для стабільної та відтворюваної якості процесу та оптимальної економічної ефективності. Функція Suck-Back запобігає залишенню крапель на зовнішній частині носика сопла. Наші клапани забезпечують точне дозування фоторезисту та всмоктування останньої краплі, що захищає чутливі середовища від впливу кисню повітря.

Рекомендовані продукти:
Дозуючі клапани VEAB та VTEP
Соленоїдні клапани з розділенням середовища VYKA/ VYKC
Електроприводи EPCO та ERMO і відповідні давачі

Наші клапани та давачі керують технологічними середовищами в підфабриці, з'єднувальному пристрої та WFE/інструменті з високою точністю та ефективністю. Будь то суспензія з абразивними частинками, вологі хімічні речовини, такі як кислоти або луги, вода DI або розчинники — незалежно від того, чи відбувається встановлення в сухому боксі, шафі керування або безпосередньо на інструменті — і незалежно від того, чи зосереджені ви на мінімальній площі, чистоті частинок, швидкому часі перемикання або особливих вимогах до навколишнього середовища, таких як висока температура або вплив хімічних речовин: Festo пропонує надійні клапани та керуючі рішення для будь-якого застосування — для довготривалого та надійного виробництва напівпровідників.

Наші системи можуть генерувати дані, які ви можете використовувати для моніторингу стану системи. Для цього ви можете використовувати існуючі алгоритми з інструменту штучного інтелекту Festo "Festo AX" та інтегрувати їх у вашу систему як окремі модулі або як цілу, персоналізовану систему.

Рекомендовані продукти:
Клапани VTOC, MH1, MHA2 та VUVG/ VTUX
Давачі SPTE, SPAN та SPAF

У так званому підйомі чаші (Bowl Lift) використовуються пневматичні приводи, за які дозволяють точно розділяти рідкі технологічні середовища, повторно їх використовувати або контрольовано утилізувати. Відповідні контейнери для збору ("чаші") розміщуються точно і надійно утримуються залежно від середовища або необхідної висоти обприскування. У той же час, система допомагає значно зменшити вібрації та удари під час роботи.

Наші системи можуть генерувати дані, які ви можете використовувати для моніторингу стану системи. Для цього ви можете використовувати існуючі алгоритми з інструменту штучного інтелекту Festo "Festo AX" та інтегрувати їх у вашу систему як окремі модулі або як цілу, персоналізовану систему.

Рекомендовані продукти:
Пневмоострів VTEP
Zylinder DFM
Керування CPX-E
Давач SDAT

При хіміко-механічному поліруванні (ХМП) наше пневматичне керування забезпечує динамічне і високоточне притискання між пластиною і притиральним столом. Клапани регулюють тиск в режимі реального часу і забезпечують особливо дбайливе притискання і підйом пластин. У поєднанні з нашими давачами тиску клапани забезпечують особливо високий рівень точності.

Рекомендовані продукти:
Клапани VTEP та VEAB
Давач тиску SPAN
Соленоїдний клапан з розділенням середовища VYKC

У системах мокрого способу виробництва, таких як віджимні очисники або лінії нанесення покриття, важливо, щоб двері в технологічну камеру працювали надійно. Особливо важливо в чистому приміщенні: він повинен надійно захищати пластини від забруднення навіть за непередбачуваних умов — наприклад, при відключенні електроживлення або подачі повітря — і сам не повинен бути джерелом частинок. Наші рішення для дверних ролет включають надійні та точні пневмоциліндри зі спеціальним мастилом для автоматичного відкривання та закривання. Наші пневматичні системи блокування також забезпечують надійне блокування. Використовувані давачі забезпечують надійний зворотний зв'язок про положення.

Рекомендовані продукти:
Круглий пневмоциліндр DSNU
Системи блокування VOFA, VTOC, MH1, VUVG/ VTUG, VTUX
Давачі SPTE, SPAN та SPAF