Ми пропонуємо для таких умов інноваційні рішення для точного керування середовищами, дбайливого оброблення пластин (ваферів), а також чутливого регулювання сил, тисків і профілів руху. Основна увага приділяється мінімізації утворення частинок, високій стабільності процесу та ефективній інтеграції. Чи то сирі субстрати, ретикли/SMIF, FOUP або готові оброблені пластини у передових упаковках, таких як Flip-Chip і Hybrid-Bonding, або Die-Banks — з Festo ви автоматизуєте свої процеси безпечно, ефективно та масштабовано.
Застосування в атмосферному середовищі
Обробка пластин: компактне перенесення
Для обробки пластин між FOUP і Load-Lock компанія Festo використовує систему «перевернута портальна машина» (Inverted Gantry). Цей декартовий робот забезпечує безпечне і швидке переміщення пластин в атмосферному середовищі. Рішення економить місце і може бути інтегроване в існуючі EFEM.
Рекомендовані продукти:
Електрична вісь ELGD
Вирівнювач пластин: кілька кроків в одному
Наш унікальний у світі вирівнювач пластин поєднує кінцевий ефектор і вирівнювач в одній компактній системі. Він набирає бали за дбайливе поводження, оптимальну відтворюваність і надзвичайно малу площу займаної поверхні. Наше автоматизаційне рішення позиціонує пластину безпосередньо на вилці, розпізнає маркування, наприклад, надрізи (notches), вирівнює пластину відповідно та точно завантажує її в процесну камеру. Таке поєднання декількох етапів в одному модулі зменшує час циклу, EFEM потребує значно менше місця, а кількість підхоплень підкладок, тобто як часто піднімають і опускають підкладку, зменшується. безконтактне вирівнювання досягається за допомогою ефекту Бернуллі. Це означає, що пластину також можна перевертати і вставляти в процес догори дном.
Розумний навантажувач: точність з визначенням зусилля
Навантажувач для пластин забезпечує точне і безвібраційне позиціонування пластини з точністю до одного мікрометра. Також можливо здійснити безперервне рухання субстрату без вібрацій, щоб уникнути так званого «вафер-вок» (Wafer-Walk). Основною перевагою є те, що система розпізнає силу, необхідну для підйому пластини, наприклад, з електростатичного патрона для пластин (ESC). Це значно зменшує ризик появи мікротріщин на пластині або навіть повного пошкодження пластини. Пневматичне рішення компактніше, ніж електричні системи, зменшує кількість електричних компонентів, таких як двигуни і контролери двигунів, а отже, і теплове випромінювання, оскільки регулятори не потрібно розташовувати безпосередньо поруч з технологічною камерою. Спеціалізовані приводи для високого вакууму також можуть управлятися за допомогою регуляторів Festo.
Система генерує та надає дані, які ви можете використовувати для моніторингу стану системи. Для цього ви можете використовувати існуючі алгоритми з інструменту штучного інтелекту Festo "Festo AX" та інтегрувати їх у вашу систему як окремі модулі або як цілу, персоналізовану систему.
Рекомендовані продукти:
Пневмоострів VTEP
Керування CPX-E
Давач SDAT
N2 Очищення з MFC: Очищення з мінімізацією сліду
Наші рішення для продувки N2 для створення і підтримки чистоти атмосфери надійно запобігають окисленню атмосферним киснем і забрудненню частинками, що містяться в повітрі. Ви знайдете відповідну систему для будь-якого застосування, від низьких до високих витрат, наприклад, для FOUP. У нашому портфоліо є регулятори масової витрати (MFC) в одноканальному виконанні та клапанні термінали з декількома MFC в багатоканальному виконанні. Для EFEM, SMIF/ FOUP стокерів або штампів ми пропонуємо рішення для очищення з особливо компактними розмірами. Система генерує дані, які можна використовувати для моніторингу стану системи, зокрема ступеня забруднення використовуваних фільтрів. Уникайте незапланованих простоїв обладнання та оптимізуйте свій процес.
Рекомендовані продукти:
Наші регулятори масового витрати VEMD, VEAD, VEFC, VTEP
Нанесення фоторезисту (PR) з регулюванням Suck-Back
При нанесенні на підкладки фоторезистів (PR), що, крім усього іншого, може бути дорогим, наші контролери дозуючих клапанів забезпечують точну товщину шару. А отже, для стабільної та відтворюваної якості процесу та оптимальної економічної ефективності. Функція Suck-Back запобігає залишенню крапель на зовнішній частині носика сопла. Наші клапани забезпечують точне дозування фоторезисту та всмоктування останньої краплі, що захищає чутливі середовища від впливу кисню повітря.
Рекомендовані продукти:
Дозуючі клапани VEAB та VTEP
Соленоїдні клапани з розділенням середовища VYKA/ VYKC
Електроприводи EPCO та ERMO і відповідні давачі
Керування технологічними середовищами: надійні системи клапанів і давачів
Наші клапани та давачі керують технологічними середовищами в підфабриці, з'єднувальному пристрої та WFE/інструменті з високою точністю та ефективністю. Будь то суспензія з абразивними частинками, вологі хімічні речовини, такі як кислоти або луги, вода DI або розчинники — незалежно від того, чи відбувається встановлення в сухому боксі, шафі керування або безпосередньо на інструменті — і незалежно від того, чи зосереджені ви на мінімальній площі, чистоті частинок, швидкому часі перемикання або особливих вимогах до навколишнього середовища, таких як висока температура або вплив хімічних речовин: Festo пропонує надійні клапани та керуючі рішення для будь-якого застосування — для довготривалого та надійного виробництва напівпровідників.
Наші системи можуть генерувати дані, які ви можете використовувати для моніторингу стану системи. Для цього ви можете використовувати існуючі алгоритми з інструменту штучного інтелекту Festo "Festo AX" та інтегрувати їх у вашу систему як окремі модулі або як цілу, персоналізовану систему.
Рекомендовані продукти:
Клапани VTOC, MH1, MHA2 та VUVG/ VTUX
Давачі SPTE, SPAN та SPAF
Підйом чаші: пневматичне мікропозиціонування Запитати в ChatGPT
У так званому підйомі чаші (Bowl Lift) використовуються пневматичні приводи, за які дозволяють точно розділяти рідкі технологічні середовища, повторно їх використовувати або контрольовано утилізувати. Відповідні контейнери для збору ("чаші") розміщуються точно і надійно утримуються залежно від середовища або необхідної висоти обприскування. У той же час, система допомагає значно зменшити вібрації та удари під час роботи.
Наші системи можуть генерувати дані, які ви можете використовувати для моніторингу стану системи. Для цього ви можете використовувати існуючі алгоритми з інструменту штучного інтелекту Festo "Festo AX" та інтегрувати їх у вашу систему як окремі модулі або як цілу, персоналізовану систему.
Рекомендовані продукти:
Пневмоострів VTEP
Zylinder DFM
Керування CPX-E
Давач SDAT
Точний контроль тиску та регулювання зусилля для полірування
При хіміко-механічному поліруванні (ХМП) наше пневматичне керування забезпечує динамічне і високоточне притискання між пластиною і притиральним столом. Клапани регулюють тиск в режимі реального часу і забезпечують особливо дбайливе притискання і підйом пластин. У поєднанні з нашими давачами тиску клапани забезпечують особливо високий рівень точності.
Рекомендовані продукти:
Клапани VTEP та VEAB
Давач тиску SPAN
Соленоїдний клапан з розділенням середовища VYKC
Дверна заслінка: пропорційне керування рухом
У системах мокрого способу виробництва, таких як віджимні очисники або лінії нанесення покриття, важливо, щоб двері в технологічну камеру працювали надійно. Особливо важливо в чистому приміщенні: він повинен надійно захищати пластини від забруднення навіть за непередбачуваних умов — наприклад, при відключенні електроживлення або подачі повітря — і сам не повинен бути джерелом частинок. Наші рішення для дверних ролет включають надійні та точні пневмоциліндри зі спеціальним мастилом для автоматичного відкривання та закривання. Наші пневматичні системи блокування також забезпечують надійне блокування. Використовувані давачі забезпечують надійний зворотний зв'язок про положення.
Рекомендовані продукти:
Круглий пневмоциліндр DSNU
Системи блокування VOFA, VTOC, MH1, VUVG/ VTUG, VTUX
Давачі SPTE, SPAN та SPAF
Ваш успіх — наша мета: ми підтримуємо вас за допомогою розумної автоматизації ваших атмосферних процесів
Скористайтеся нашим досвідом у виробництві напівпровідників — незалежно від того, чи це силова електроніка, MEMS, логіка або мікросхеми пам'яті, і незалежно від того, чи виготовлені пластини з кремнію, сапфіру або SiC (карбіду кремнію). Дозвольте нам проконсультувати вас індивідуально щодо вашого застосування, будь то обробка FOUP, дозування PR або CMP. Разом ми розробляємо рішення, які ідеально відповідають вашим вимогам та архітектурі вашої системи.
Ми знаємо, з якими викликами ви стикаєтесь, і підтримуємо вас рішеннями, які допоможуть вам досягти довготривалого успіху:
- Оптимізований інтерфейс: підвищуйте продуктивність EFEM за допомогою нашої перевернутої портальної системи. Система переміщення особливо компактна, довговічна і є економічно вигідною альтернативою звичайним Роботам.
- Стійкі клапани: Обговоріть із нами точне та дбайливе керування та регулювання пневматичних клапанів високої чистоти з PTFE та PFA.
- Жодних підтікання крапель: Наші клапани з функцією Suck-Back запобігають підтіканням і забезпечують точне дозування фоторезисту (PR)..
- Точне видалення матеріалу:За допомогою наших інноваційних клапанів ви можете точно регулювати контактний тиск - для швидкого та точного видалення матеріалу.
Швидкий вибір продукту за допомогою правильного інженерного інструменту
Зменшіть споживання азоту та енергії
Ви можете протистояти ціновому тиску в напівпровідниковій промисловості! Стале скорочення споживання азоту та енергії також покращує ваш вуглецевий слід у виробництві напівпровідників.
Поширені запитання
Які рішення ми пропонуємо для атмосферних процесів, таких як нанесення фоторезисту (PR Coating), вологе очищення (Wet Clean) та хімічно-механічне полірування (CMP)?
Ми підтримуємо атмосферні процеси у виробництві напівпровідників, такі як нанесення фоторезисту (PR Coating), експонування, проявлення, вологі процеси та CMP, за допомогою точних автоматизаційних рішень. Це включає системи з перевернутим порталами (Inverted Gantry) для обробки субстратів або ретиклів/масок, клапанну техніку для точного і надійного керування середовищами — зокрема клапани високої чистоти з пластику чи UHP-клапани з нержавіючої сталі, а також компактні пневматичні та електричні приводи. Наші рішення ви знайдете, наприклад, у самих процесних інструментах, а також у периферійних системах, таких як системи очищення та обробки для FOUP, SMIF або ретиклів/масок, а також у системах зберігання і рішеннях для сучасних етапів пакування, таких як FlipChip або Hybrid Bonding у передовому пакуванні (Advanced Packaging).
Чи пропонує Festo спеціальні рішення для капсул FOUP або SMIF, а також для обробки підкладки або сітки?
Ми пропонуємо численні спеціальні рішення для роботи з FOUP, SMIF-корпусами, підкладками та сітками на високоавтоматизованих напівпровідникових заводах. Завдяки системі перевернутого порталу ми реалізуємо компактні та економічні переміщення в EFEM, а наш інноваційний вирівнювач пластин прискорює процес завантаження завдяки інтегрованому вирівнюванню і, таким чином, скорочує час циклу. Для FOUP ми постачаємо високопродуктивні системи продувки N2 з точним керуванням, на вибір, як одноканальні або багатоканальні рішення, що дозволяє зменшити кількість входів/виходів або керувати кількома МФК за допомогою одного Модуля шини. Ми також розробляємо компактні системи продувки для пробок SMIF/ FOUP або штампів, які точно контролюють навіть низьку швидкість потоку і забезпечують чисту захисну атмосферу.
Чи є у Festo спеціальні рішення для мокрих процесів, таких як PR-покриття, проявлення і зачистка або SpinClean?
Ми пропонуємо спеціальні рішення для мокрих процесів, таких як PR-покриття, проявлення, стрипінг або SpinClean. Наші рішення, такі як клапани і давачі, керують вашими клапанами високої чистоти з PFA, Teflon®, PVDV або PP або вашими клапанами надвисокої чистоти з нержавіючої сталі з високою точністю і ефективністю, а також забезпечують тривалий термін служби завдяки особливо м'якому приведенню в дію. Наші системи можуть генерувати дані, які ви можете використовувати для моніторингу стану системи. Для цього ви можете використовувати існуючі алгоритми з інструменту штучного інтелекту Festo "Festo AX" та інтегрувати їх у вашу систему як окремі модулі або як цілу, персоналізовану систему.
Незалежно від того, чи встановлюється він в сухому боксі, шафі керування або безпосередньо на інструменті, незалежно від того, чи є для вас важливими мінімізація займаної площі, чистота частинок, швидкий час перемикання, особливі вимоги до навколишнього середовища, такі як висока температура або вплив хімічних речовин, ми пропонуємо правильне рішення для кожного застосування. Дозуйте агресивні хімікати, а клапани з функцією Suckback при дозуванні фоторезисту (PR-Dispensing) запобігають підтіканням і забезпечують точну кількість середовища. Для процесів SpinCleaning ми постачаємо пневматичні приводи, які керують підйомом чаші (Bowl Lift) та плавно встановлюють захист від бризок або сепаратор середовищ у потрібне положення. Таким чином, ми підтримуємо безпечне, ефективне та вільне від забруднень управління процесами. І таким чином робимо внесок у сталий виробничий процес. Використовуючи інноваційну технологію клапанів, ви можете заощаджувати електроенергію безпосередньо з Festo і таким чином зменшити викиди CO2. Ми будемо раді супроводжувати вас на шляху до того, щоб стати "зеленою фабрикою".
Чи пропонує Festo спеціалізовані рішення для процесів CMP або відповідного обладнання?
Ми пропонуємо спеціальні рішення для процесів CMP, які вимагають максимальної точності та динаміки, особливо в сучасному пакуванні. Наші високоточні п'єзорозподільники дозволяють точно контролювати контактний тиск, що має вирішальне значення для контрольованого і рівномірного видалення матеріалу. Таким чином, ми не тільки підтримуємо якість процесу та мінімізацію браку, але й допомагаємо скоротити час вашого виробництва. Ми також розробляємо рішення, які підвищують ефективність і доступність систем CMP, наприклад, у поєднанні з прокладками для кондиціонерів або інтелектуальними компонентами автоматизації.
Що пропонує Festo для загальної автоматизації напівпровідникових заводів?
Ми пропонуємо комплексні рішення для автоматизації всіх ділянок і етапів технологічного процесу на напівпровідниковій фабриці. Наприклад, на інноваційних заводах ми підтримуємо технологічний прогрес своїми дослідженнями та новаторськими продуктами. У SubFab ми забезпечуємо надійну подачу середовища і стабільні процеси, такі як очищення стічних вод або відпрацьованих газів. Від прецизійних клапанів та інтелектуальних приводів до комплексних систем переміщення — наші рішення для автоматизації роблять надійний внесок у підвищення стабільності, швидкості та енергоефективності виробничих процесів.
Використовуйте дані, які генерують наші рішення, для моніторингу стану машини або оптимізації процесу - використовуйте рішення Festo для штучного інтелекту "Festo AX" як окремий модуль для спеціального застосування або як персоналізоване комплексне рішення для вашої системи.
Скоротіть споживання енергії у вашій системі та в цілому на заводі, використовуючи інноваційну технологію Festo. Заощаджуйте двічі з нами! Зменшіть енергоспоживання вашої системи та оптимізуйте споживання стисненого повітря/CDA та інертних газів. Ми супроводжуємо вас у вашій місії зі скорочення викидів CO2.
Чи пропонує Festo рішення для вдосконаленої упаковки?
Ми пропонуємо інноваційні рішення для вдосконаленої упаковки, яка відіграє центральну роль у сучасних чіпсах, таких як HBM. Для таких процесів, як фліп-чип або термоплавке/гібридне склеювання, ми постачаємо приводи з точним переміщенням, щоб запобігти "видавлюванню" при клейовому з'єднанні. Скористайтеся перевагами точних приводів, за допомогою яких можна реалізувати точні рухи з точністю 1 мкм.
Виміряйте вигин пластин (деформовані пластини) і натягніть їх на патрон.
Контролюйте процеси та стан машини за допомогою Festo AX. Скористайтеся перевагами інноваційної технології Festo у вашому термозшивальному/гібридному бондері та підвищіть надійність і якість процесу при виготовленні складної сучасної упаковки.