Tự động hóa trong ngành công nghiệp bán dẫn

Ứng dụng: Điều khiển và điều chỉnh mạch làm mát

Thách thức của bạn: Kiểm soát đáng tin cậy môi trường làm mát trong sản xuất chất bán dẫn

Giải pháp của Festo:

• Van cụm VTUG và VTOC (1) để điều khiển đáng tin cậy các van khí nén
• Van cụm thuộc loại CPX-MPA , nếu cần bổ sung I/Os, ví dụ để điều khiển van điện, tích hợp cảm biến hoặc thiết lập mạch điều khiển đóng. Với điều này, các chức năng chẩn đoán và bảo trì từ xa cũng có thể được thực hiện.
• Van được kích hoạt bằng khí nén hoặc điện thuộc loại VZXA, VZQA, VZWF (3) điều khiển dòng môi chất. Ngay cả trong một vòng khép kín, môi rất lạnh và / hoặc nóng được kiểm soát một cách đáng tin cậy và chính xác.
• Bộ truyền động xoay DFPD (4) kích hoạt Van bi VZBF (5) và van nắp, thường được sử dụng trong đường dây chính hoặc trong đường cấp / xả của môi trường làm mát / điều khiển nhiệt độ do tốc độ dòng chảy cao.
• Cảm biến loại SFAW (2) và SPAW (6) đo lưu lượng và nhiệt độ môi trường hoặc áp suất môi trường với độ chính xác cao.

Sản phẩm cho ngành công nghiệp bán dẫn

Festo có danh mục sản phẩm đa dạng cho các loại máy sản xuất linh kiện điện tử: van cụm VTOC với chức năng an toàn tích hợp hoặc van điều khiển tỉ lệ áp suất VEAA / VEAB của chúng tôi để điều khiển thí điểm các van môi trường, chẳng hạn như các van thường được sử dụng trong điều khiển hoặc điều chỉnh khí quy trình.