Hoàn thiện quy trình sản xuất chất bán dẫn của bạn bằng các giải pháp tự động hóa lý tưởng – làm cho quy trình ổn định, độ chính xác tối đa và giảm thiểu nhu cầu về không gian. Là đối tác của ngành công nghiệp chip và chất bán dẫn, chúng tôi hiểu những thách thức của bạn. Chúng tôi hỗ trợ bạn bằng cả những thành phần tiêu chuẩn sáng tạo và các giải pháp tùy chỉnh phù hợp lý tưởng cho quy trình và hệ thống của bạn. Các giải pháp của chúng tôi có tính đến các tiêu chuẩn của ngành, chẳng hạn như tạo ra hạt mang điện hoặc thải khí.
Giải pháp tự động hóa chất lượng cao và dễ thích ứng của chúng tôi giúp bạn tận dụng công nghệ tiên tiến, mang tính cạnh tranh từ Front-End đến Back-End, đến khi Advanced Packaging như Hybrid Bonding. Chúng được tối ưu hóa nhằm giảm thiểu ô nhiễm, hoạt động đáng tin cậy và vì thế duy trì năng suất của bạn trong thời gian dài. Nhờ thiết kế về mặt cấu trúc, chúng thường giúp giảm chi phí năng lượng và lượng khí thải sinh thái.
Những giải pháp tự động hóa của chúng tôi đảm bảo năng suất ổn định và tiết kiệm trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Thiết kế thông minh của các thành phần cũng giúp chúng có khả năng thích ứng và mở rộng đặc biệt. Thiết kế này cho phép bạn phản ứng nhanh chóng và dễ dàng với nhu cầu sản xuất thay đổi bất cứ lúc nào.
Bạn được hưởng những lợi ích sau với giải pháp tự động hóa của chúng tôi:
Hãy tin tưởng vào các giải pháp toàn diện của chúng tôi, nó sẽ giúp quy trình của bạn luôn ổn định và có thể tái tạo. Các loại phớt và mỡ chuyên dụng dành riêng cho chất bán dẫn của chúng tôi cũng giúp bạn giảm thiểu tối đa lượng khí thoát ra, để có được quy trình lý tưởng. Cho dù là kiểm soát nhiệt độ đơn lẻ, định vị vi mô hay kiểm soát chu kỳ chính xác các pha khí trong quy trình lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) – chúng tôi phát triển các giải pháp phù hợp với bạn.
Chúng tôi hỗ trợ bạn bằng các biện pháp sau:
Chúng tôi hiểu những thách thức phức tạp mà các nhà sản xuất chất bán dẫn phải đối mặt và cung cấp các giải pháp phù hợp. Chúng tôi cũng hỗ trợ bạn bằng những kiến thức thực tế chuyên sâu và mạng lưới hỗ trợ toàn cầu của mình. Các chuyên gia của chúng tôi luôn sẵn sàng giúp bạn cải thiện chức năng của hệ thống và giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động.
Hãy tin tưởng rằng chúng tôi là đối tác tự động hóa lý tưởng của bạn:
Các giải pháp tự động hóa của chúng tôi dành cho ngành công nghiệp bán dẫn tập trung vào độ chính xác, hiệu quả năng lượng, không gian lắp đặt và tính linh hoạt – từ các sản phẩm trong danh sách đến những giải pháp tùy chỉnh tích hợp chính xác vào hệ thống theo thông số kỹ thuật của bạn. Bên cạnh những tiêu chuẩn của ngành, hiệu quả kinh tế của hệ thống là điều kiện tiên quyết quan trọng. Các lĩnh vực cốt lõi của chúng tôi bao gồm kiểm soát chính xác các mạch làm mát nhờ sử dụng các van cụm và cảm biến, giảm lượng tiêu thụ nitơ thông qua công nghệ piezo cải tiến, xử lý hiệu quả các tấm Vafer và chip bằng hệ thống xử lý dạng mô đun nhỏ gọn. Ngoài ra, Festo Automation Experience (Festo AX) của chúng tôi sử dụng trí tuệ nhân tạo giúp tối ưu hóa dựa trên dữ liệu các quy trình sản xuất nhằm tăng chất lượng và hiệu quả. Đối với các ứng dụng cụ thể, chúng tôi cung cấp các giải pháp tùy chỉnh như kiểm soát bộ nâng chốt và cung cấp khí cho quy trình đánh bóng hóa học. Bằng cách giúp các nhà sản xuất chất bán dẫn giảm chi phí sản xuất, tăng khả năng cung ứng của nhà máy và cải thiện chất lượng sản phẩm.
Với các giải pháp tự động hóa của mình, chúng tôi đặc biệt hướng đến toàn bộ ngành công nghiệp bán dẫn, các nhà điều hành nhà máy cũng như các OEM của hệ thống sản xuất và các kỹ sư quy trình từ khâu Front End đến Back End, cho đến Advanced Packaging. Các nhà phát triển và lập kế hoạch cho các hệ thống phức tạp trong lĩnh vực công nghệ điện tử và vi hệ thống cũng được hưởng lợi từ các giải pháp của chúng tôi.
Các giải pháp tự động hóa của chúng tôi được thiết kế cho mục đích sử dụng trong các hệ thống, thiết bị sản xuất wafer (WFE) và các công cụ sản xuất chất bán dẫn cũng như trong khu vực phụ trợ (SubFab). Bao gồm các thành phần và hệ thống cung cấp khí, mạch làm mát, công nghệ chân không và những giải pháp chuyển động trong phòng sạch công nghiệp. Với các van cụm nhỏ gọn, công nghệ piezo và cảm biến thông minh, các thành phần của chúng tôi hỗ trợ tính ổn định của quy trình và hiệu quả năng lượng. Tại SubFab, hệ thống tự động của chúng tôi góp phần hỗ trợ các quy trình cung ứng quan trọng một cách an toàn, tiết kiệm không gian và ít bảo trì. Có thể phân biệt giữa các sản phẩm theo danh sách, bao gồm các sản phẩm thông dụng, có sẵn trên toàn thế giới và giải pháp dành riêng cho khách hàng, được xây dựng theo thông số kỹ thuật của bạn.
Chúng tôi có nhiều năm kinh nghiệm sâu rộng trong các lĩnh vực Front End, Back End và Advanced Packaging về chất bán dẫn. Phần lớn danh sách sản phẩm của chúng tôi được phát triển thông qua sự hợp tác chặt chẽ với ngành, theo yêu cầu của bạn. Hầu hết những nhà máy sản xuất và OEM quốc tế nổi tiếng đều là khách hàng của Festo. Các sản phẩm đã được kiểm chứng và cải tiến của chúng tôi bao gồm cả những giải pháp phù hợp cho từng giai đoạn sản xuất – từ chế biến tấm wafer đến lắp ráp và đóng gói. Nhờ hiểu biết sâu sắc về nhu cầu và thách thức của khách hàng, chúng tôi có thể cung cấp các giải pháp phù hợp, đáp ứng đáng tin cậy các yêu cầu cao về độ chính xác, độ sạch và độ tin cậy trong mọi giai đoạn sản xuất chất bán dẫn.
Là đối tác đáng tin cậy trong ngành công nghiệp bán dẫn, chúng tôi không chỉ cung cấp các giải pháp tự động hóa mà còn hỗ trợ kỹ thuật, tư vấn ứng dụng và các giải pháp hệ thống tùy chỉnh cho các yêu cầu sản xuất cụ thể. Chúng tôi cũng hỗ trợ bạn bằng các dịch vụ số như theo dõi tình trạng, bảo trì dự đoán và sử dụng AI nhằm tối ưu hóa quy trình. Đào tạo, hỗ trợ kỹ thuật trên toàn thế giới và vận chuyển phụ tùng cần thay thế nhanh chóng là những dịch vụ hoàn thiện của chúng tôi.
Đối với khách hàng trong ngành công nghiệp bán dẫn, các sản phẩm tương thích với phòng sạch công nghiệp, độ tin cậy quy trình tối đa và tuổi thọ dài của chúng tôi đặc biệt quan trọng. Nếu có điều gì đó không diễn ra theo kế hoạch, quy trình phân tích nhanh nguyên nhân gây ra lỗi, được Festo khảo sát bằng các phương pháp phân tích hiện đại sẽ mang đến ưu thế cho bạn. Chúng tôi cũng đã triển khai một hệ thống quản lý thay đổi và ngừng sản xuất toàn diện đáp ứng các yêu cầu tiêu chuẩn của ngành, chẳng hạn như “CopyExact!” (CE!). Ngoài ra, chúng tôi cũng cung cấp các sản phẩm dành cho ứng dụng phòng sạch công nghiệp, có thể đóng gói đôi theo yêu cầu.