Един от начините да се противодейства на този ценови натиск е да се намали значително потреблението на азот и енергия необходима за производството. Азотът е най-често използваната среда в процеса на производство на полупроводници. В големите фабрики за полупроводници потреблението на азот може да достигне до 50 000 кубични метра на час. Между другото, азотът се използва за промиване на FOUP, за да се създаде контролирана, незамърсена среда за Wafer, които се транспортират за обработка от една машина до друга.
Старателният анализ на областите, в които се използва азот във фабриката, и целенасоченото намаляване до минимум на потреблението могат да доведат до значителни икономии в кратък срок. По-специално промиването на FOUP предлага много възможности за ефективно използване на азота посредством активно дозиране със затворен цикъл на регулиране. В сравнение с конвенционалните разпределители пиезоелектрическите продухващи вентили дозират с висока точност и същевременно изразходват изключително малко енергия. С помощта на съответни системи потреблението на азот в голяма фабрика и свързаните с него потребление на енергия и емисии на CO2 могат да бъдат намалени значително.
