С разпределителите VEAD и VEFC потреблението на азот може да бъде намалено с до 75% при промиване на FOUP. Тези решения са специално разработени за приложения за дозиране на инертни газове и предлагат предимства като висока динамика, ниско ниво на образуване на частици и дълъг експлоатационен живот.
Festo използва пиезоелектрически пластини в тези регулиращи разпределители като техническа иновация. Тази технология позволява плавно и прецизно управление на разпределителя посредством подаване на напрежение. Използването на ефективна пиезотехнология също така намалява до минимум консумацията на енергия. Като цяло можете да спестите до 18% от общото си потребление на азот и да намалите емисиите на CO2 с почти 1/5.