Procesy v hlubokém podtlaku jsou při výrobě čipů a polovodičů základem mnoha kritických operací. Ve velmi citlivém prostředí, kde i ty nejmenší částice mohou narušit procesy nebo poškodit součástky, je nezbytná maximální preciznost, čistota a opakovatelnost. Nabízíme automatizaci, která je těmto požadavkům přesně přizpůsobena – technologicky špičková, spolehlivá a důsledně v souladu s požadavky na čistý prostor.
K typickým aplikacím v hlubokém podtlaku patří technologie jako je nanášení, leptání nebo implantace iontů. Často probíhají v tlakovém rozmezí 10-⁶ až 10-⁸ mbar a kladou nejvyšší nároky na odolnost materiálu, regulaci teploty, rychlost a opakovatelnou přesnost řízení procesního plynu. S inovativními komponenty a systémovými řešeními pomáháme zákazníkům při zajišťování kvality procesů, minimalizaci prostojů a dosahování maximálních výnosů. Ať už se jedná o teplotně stabilní plynové ventily, manipulaci s plátky s nízkými emisemi částic nebo energeticky účinné pohony – dodáváme řešení, která lze snadno integrovat do stávajících zařízení a zároveň nabízejí prostor pro další technologický vývoj.
Při zaplavování kontejnerů FOUP pro 300mm plátky dusíkem se jedná o profukování přepravního kontejneru, aby se zabránilo oxidaci a kontaminaci částicemi. Čistota plátků je v kontejneru EFEM zajištěna, neboť se tvoří laminární proudění, které z něj unáší částice směrem dolů.
Důležité výrobky: velmi účinné ventily s piezoelektrickou technologií, například VEAD, VEFC, VEMD.
Brána mezi atmosférou a hlubokým podtlakem , tzv. Load-Lock: při atmosférickém tlaku se vloží plátek, odsaje se vzduch a poté se umístí do přepravní komory. Hotové zpracované plátky se tímto způsobem také vracejí zpět do EFEM.. Load Lock se proto opět opatrně natlakuje. Ventily Festo řídí proces regenerace přesně podle předem definovaných tlakových křivek. Zabrání turbulencím, tepelnému namáhání a snižuje mechanické zatížení.
Doporučené výrobky: regulátory průtoku VEAD, regulátory hmotnostního průtoku VEFC
Pro manipulaci s plátky mezi zařízeními FOUP a Load-Lock používáme „invertovaný portál". S tímto kartézským robotem máte jistotu, že se plátky budou v atmosférickém prostředí pohybovat spolehlivě a rychle. Manipulace je jprostorově úsporná a ideální pro integraci do stávajících modulů EFEM.
Doporučené výrobky: elektrické pohony ELGD
Každá procesní komora má jeden nebo více přidružených plynových boxů. Jedná se o část zařízení, ve které se pomocí ventilů z ušlechtilé oceli s vysokou čistotou řídí požadované procesní plyny nebo se vyrábějí směsi plynů.
Pro tuto aplikaci můžete využít speciální ventily, které splňují požadavky na instalační prostor, životnost a opakovatelnost spínacích rychlostí.
Doporučené výrobky: ventilové terminály VTOC, samostatné ventily MH1
Nároky na plynové ventily v zřízeních pro nanášení atomárních vrstev (ALD) jsou obzvlášť přísné. Proces vyžaduje vždy identickou sekvenci s maximální opakovatelnou přesností v rozmezí několika milisekund: zavedení procesních plynů a následný profuk inertním plynem. Vysoké teploty plynných médií kladou vysoké zatížení na techniku ventilů. Ideální pro opakovatelný a stabilní proces ALD jsou speciální rychlé ventily MH2 pro pilotní ovládání ventilů na média pro okolní teploty do 120 °C.
Doporučené výrobky: rychlé ventily MH2
Wafer-Pin-Lift v hlubokém podtlaku umožňuje polohování plátku v procesní komoře téměř bez otřesů, a to buď s jedním pohonem, nebo se 3 synchronizovanými pohony. Polohovací pohyb substrátu bez vibrací je rovněž možný s přesností až na jeden mikrometr. Pneumatická řešení pracují bez významných vibrací a zabraňují tak tzv. wafer walk. Výhodou řešení Festo je, že systém rozpozná sílu potřebnou ke zvednutí plátku ze sklíčidla ESC. Výrazně se zmenšuje riziko vzniku mikrotrhlin v plátku resp. dokonce jeho úplného rozlomení. Pneumatické řešení je kompaktnější než elektrické systémy a zmenšuje počet elektrických komponentů, jako jsou motory v blízkosti komory, protože požadovaný ventilový terminál a jeho ovládání lze umístit ve větší vzdálenosti od procesní komory.
Doporučené výrobky: ventilové terminály VTEP, řízení -CPX-E, čidla SDAT
Toto řešení výrazně zmenšuje vibrace při otevírání a zavírání bran, známých také jako předávací nebo štěrbinové ventily. Systém umožňuje plynulý rozběh a brzdění bez vlivu na dobu cyklu. Účinně můžete regulovat i úhlové ventily.
Pedestal-Lift se používá zejména v zařízeních na povrchovou úpravu. Systém zajišťuje, aby byl substrát nebo plátek v procesní komoře zarovnán do správné polohy vzhledem k plazmě a sprchové hlavici.
Kromě elektrických řešení nabízíme také možnost nasměrování pomocí pneumatického pohonu. Výhodou je, že pneumatické obvody mají obecně menší rozměry a eliminují se zdroje tepla, jako jsou ovladače motorů nebo motory.
Správná teplota je v mnoha výrobních procesech polovodičů klíčová. Na jedné straně musí být elektrostatické sklíčidlo pro plátky (ESC) přesně vyhříváno, aby se plátky dostaly na požadovanou teplotu pro stabilní a bezpečné procesy. Na druhou stranu součásti zařízení, jako je plazmový generátor nebo procesní komora, vyžadují chlazení, aby mohly dlouhodobě spolehlivě fungovat. Ventily VZXA spolehlivě regulují chladicí a topná média v rozmezí -80 °C a +100 °C. Ventily lze přizpůsobivě používat – jako jednotlivé ventily nebo v blocích na zakázku.
Doporučené výrobky: ventily se šikmým sedlem VZXA
Každá procesní komora, stejně jako Load-Lock a přenosová komora, mají kryt, který lze v případě potřeby otevřít. Kryt musí být možné spolehlivě otevřít a zavřít pro údržbu nebo servis. Eektrická i pneumatická řešení Festo lze přizpůsobivě integrovat do stávajících zařízení. V případě potřeby lze přidat bezpečnostní techniku.
Zvládněte výzvy Vaší výroby polovodičů s naší pomocí a na míru pro vakuové aplikace. Budete moci trvale stabilizovat své stávající procesy a zároveň zvýšit kvalitu a dobu cyklu a maximalizovat výnosy.
S našimi technologiemi se můžete spolehnout na kvalitu, která se v konkurenčním světě vyplatí:
V článku na blogu „Snižování spotřeby dusíku pomocí ventilů s piezoelektrickou technologií“ se dozvíte, jak můžete zmenšit spotřebu při profukování kontejnerů FOUP dusíkem s ventily VEFC a VEAD až o 75 %. Ventily byly speciálně vyvinuty pro dávkování inertních plynů a poskytují výhody - rychlá dynamika, malé emise částic a dlouhá životnost.
Při výrobě polovodičů vyžadují procesy s hlubokým podtlakrem a Wafer-Front-End-Equipment (WFE), jako je depozice, implantace iontů nebo suché leptání, zvláště vysoké standardy čistoty, odplynování a spolehlivosti. Pro tento účel nabízíme speciálně vyvinutá automatizační řešení: pohony, ventily a manipulační systémy pro použití s spodtlakem, které pracují přesně a bezpečně i v extrémních podmínkách, jako jsou vysoké teploty nebo agresivní média. Naše komponenty uvolňují jen velmi málo částic a lze je přizpůsobivě používat i v malém instalačním prostoru. Díky našim dlouholetým zkušenostem v polovodičovém průmyslu Vám pomůžeme s navrhování efektivních a reprodukovatelných procesů bezpečných při poruše.
Bezpečná manipulace s procesními plyny je při procesech s hlubokým podtlakem podstatná. Obvykle se jedná o korozivní nebo reaktivní plyny, které jsou vždy zdraví škodlivé. Klíčem k úspěchu příslušného kroku procesu je zpravidla přesná iniciace s co největší přesností opakování. To platí bez ohledu na to, zda se jedná o nosný plyn, čisticí plyn nebo vlastní procesní plyn pro leptací proces nebo velmi dynamický proces ALD (Atomic Layer Deposition). Poskytneme Vám správné řešení pro hospodárné řízení vašich pneumaticky ovládaných ventilů, jako jsou klasické detektory Gas-Stick nebo ventily ALD pro vysokoteplotní aplikace. Pro každou aplikaci u nás najdete správnou technologii ventilů.
Inteligentní řízení štěrbinových ventilů, šoupátek a přenosových ventilů výrazně zmenšuje vibrace v nástroji a také minimalizuje tvorbu částic a zadrhávání jejich vlivem. Chrání se těsnění veventilu. Kromě štěrbinových a přenosových ventilů lze úhlové ventily ovládat také pneumaticky. Další důležitou aplikací je regenerace vakuových komor, jako jsou například komory Load Lock. Úsporné regulátory hmotnostního průtoku (Mass Flow Controller = MFC) Festo pro inertní plyny regenerují spolehlivě a šetrně.
Ať už se jedná o křemíkové plátky 300 mm, 150/200 mm, plátky SiC nebo panely v Advanced Packaging – nabízíme specializovaná řešení pro manipulaci se substráty. Klíčovou aplikací je Pin-Lift pro komory s hlubokým podtlakem. Umožňuje jemné pohyby plátků end-to-end nebo polohování v procesu na úrovni mikrometrů – s řízenou silou, minimálním příkonem energie a bez dalších ovladačů motorů v blízkosti komory. Další řešení obsahují Sockellift (Pedestal Lifts) a kompaktní koncové efektory s plátky s integrovanými prvky Aligner pro přesnou orientaci na malém prostoru.
Přesná regulace teploty procesních plynů, substrátů a procesních komponentů má zásadní význam pro kvalitu procesů nanášení povlaků a leptání. Rostoucí teploty představují pro výrobce polovodičů stále větší výzvu. Nabízíme inteligentní řešení pro regulaci teploty, pomocí kterých lze například bezpečně a efektivně chladit nebo temperovat sklíčidla na plátky (elektrostatická sklíčidla / ESC), procesní komory nebo dokonce plazmové zdroje či RF generátory. Naše systémy umožňují spolehlivou regulaci teploty – pro stabilní procesy, větší výtěžnost a delší životnost Vašich zařízení.