Mit den Ventilen VEAD und VEFC lässt sich der Stickstoffverbrauch beim Spülen von FOUPs um bis zu 75% reduzieren. Diese Lösungen sind speziell für Anwendungen zum Dosieren von inerten Gasen ausgelegt und bieten Vorteile wie hohe Dynamik, geringe Partikelgenerierung und lange Lebensdauer.
Als technische Innovation setzt Festo in diesen Regelventilen piezoelektrische Bieger ein. Diese Technologie ermöglicht eine stufenlose, präzise Regelung des Ventils durch Anlegen einer Spannung. Durch den Einsatz der effizienten Piezotechnologie wird auch die Leistungsaufnahme minimiert. Insgesamt können Sie bis zu 18% Ihres gesamten Stickstoffverbrauchs einsparen und den CO2-Ausstoß um fast 1/5 reduzieren.