Inert gázok precíz szabályozása: a kedvező alternatíva
A VEFC tömegáram-szabályozó különösen a félvezető ipar számára ideális, de valójában mindenhol használható, ahol inert gázokat kell pontosan szabályozni. A rendkívül kompakt VEFC kibővíti a Controlled Pneumatics termékportfóliót. Ugyanakkor rendelkezik a piezo szelepek összes előnyével: maximális dinamika, fokozatmentesen szabályozható pontosság, nagyon alacsony energiafogyasztás és fűtés, stabil térfogatáram kézi beállítás nélkül - és nagyon jó ár-érték arány.
Gazdaságos, biztonságos és precíz N2 öblítés
A töltőnyílásban a VEFC-vel számos térfogatáram szabályozható az egyes tisztítási lépésekben. Az előfúvás, az előtisztítás, a folyamat tisztítás és az utótisztítás során a VEFC biztosítja, hogy csak a feltétlenül szükséges nitrogén kerüljön felhasználásra. Ez nitrogént takarít meg és lerövidíti a folyamat idejét, amíg a száraz védőgáz atmoszférát el nem éri.
