VEAD バルブと VEFC バルブを使用することで、FOUP をフラッシュする際の窒素消費量を最大 75% 削減できます。これらのソリューションは不活性ガスを注入する用途向けに特別に設計されており、高い動力学、低粒子発生、長い耐用年数などの利点を提供します。
技術革新として、Festoはこれらの制御バルブに圧電ベンダーを使用しています。この技術により、電圧を印加することでバルブを継続的に精密に制御することが可能になります。 効率的なピエゾテクノロジーを使用することで、消費電力も最小限に抑えられます。全体として、総窒素消費量を最大 18% 節約し、CO2排出量をほぼ 1/5 削減できます。