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マスフローコントローラ VEFC
不活性ガス用の非常にコンパクトなVEFCはピエゾバルブのすべての利点を備えています：最高度の動特性, 無段階の可変精度, 非常に低い消費電力と加熱, 手動調整なしの安定した流量
非常にコンパクト：幅わずか24mm
直接制御のダイナミック・ピエゾバルブ
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