Dzięki zaworom VEAD i VEFC zużycie azotu podczas FOUP można zmniejszyć nawet o 75%. Rozwiązania te są specjalnie zaprojektowane do zastosowań związanych z dozowaniem gazów obojętnych i oferują takie zalety jak wysoka dynamika, niskie wytwarzanie cząstek stałych i długa żywotność.
Festo wykorzystuje piezoelektryczne przetworniki w tych zaworach regulacyjnych jako innowację techniczną. Technologia ta umożliwia bezstopniowe, precyzyjne sterowanie zaworem poprzez przyłożenie napięcia. Zastosowanie wydajnej technologii piezoelektrycznej minimalizuje również zużycie energii. Ogólnie rzecz biorąc, można zaoszczędzić do 18% całkowitego zużycia azotu i zmniejszyć emisję CO2 o prawie 1/5.