Atmosferski procesi v proizvodnji polprevodnikov

Družba Festo pri ravnanju s ploščicami med FOUP in Load-Lock uporablja "obrnjeno portalno napravo". Ta kartezni robot zagotavlja varno in hitro premikanje ploščic v atmosferskem okolju. Rešitev je prostorsko varčna in jo je mogoče vključiti v obstoječe EFEM.

Priporočeni izdelki:
Električna os ELGD

Naš edinstveni globalni poravnalnik ploščic kombinira končni efektor in poravnalnik v enem kompaktnem sistemu. Točke dobi zaradi nežnega rokovanja, optimalne ponovljivosti in izjemno nizkega odtisa. Naša rešitev za avtomatizacijo pozicionirni element ploščice namesti neposredno na vilice, prepozna oznake, kot so zareze, ustrezno poravna ploščico in jo z veliko natančnostjo naloži v procesno komoro. Ta kombinacija več korakov v enem Modulu zmanjša čas cikla, EFEM potrebuje bistveno manj prostora, zmanjša pa se tudi število dvigov ploščic, tj.kako pogosto se ploščica dvigne in odloži. Brezkontaktna poravnava se doseže z uporabo Bernoullijevega učinka. To pomeni, da je mogoče ploščico tudi obrniti ("prevrniti") in jo v postopek vstaviti z glavo navzdol.

Dvigalo za ploščice omogoča natančno in vibracijsko pozicioniranje ploščice z natančnostjo do enega mikrometra. Možno je tudi premikanje substrata od konca do konca brez vibracij, da bi se izognili tako imenovanemu prehajanju po plošči. Glavna prednost je, da sistem prepozna silo, ki je potrebna za dvig ploščice, npr. iz elektrostatičnega držala za ploščice (ESC). To bistveno zmanjša tveganje za nastanek mikrorazpok na ploščici ali celo za popolno poškodbo ploščice. Pnevmatska rešitev je kompaktnejša od električnih sistemov, zmanjšuje število električnih komponent, kot so motorji in krmilniki motorjev, ter s tem tudi toplotno sevanje, saj regulacijskih ventilov ni treba pozicionirati neposredno ob procesni komori. S Festo regulacijskimi ventili je mogoče krmiliti tudi specializirane pogone za visok vakuum.

Sistem ustvarja in posreduje podatke, ki jih lahko uporabite za spremljanje stanja sistema. V ta namen lahko uporabite obstoječe algoritme iz Festovega orodja za umetno inteligenco "Festo AX" in jih vključite v svoj sistem kot posamezne module ali kot celotni prilagojeni sistem.

Priporočeni izdelki:
Ventilski otok VTEP
Nadzor CPX-E
Senzor SDAT

Naše rešitve za čiščenje z N2 za ustvarjanje in vzdrževanje čiste atmosfere zanesljivo preprečujejo oksidacijo z atmosferskim kisikom in onesnaženje z delci v zraku. Za vsako uporabo boste našli pravi sistem, od majhnih do velikih pretokov, npr. za FOUP. Naša ponudba vključuje krmilnike masnega pretoka (MFC) kot enokanalne in ventilne terminale z več MFC kot večkanalno rešitev. Za naprave EFEM, skladišča SMIF/ FOUP ali banke matric ponujamo rešitve čiščenja s posebej kompaktnim tlorisom. Sistem ustvarja podatke, ki jih lahko uporabite za spremljanje stanja sistema, zlasti stopnje onesnaženosti uporabljenih filtrov. Izognite se nenačrtovanim izpadom strojev in dodatno optimizirajte svoj proces.

Priporočeni izdelki:
Naši regulatorji masnega pretoka VEMD, VEAD, VEFC, VTEP

Pri premazovanju substratov s fotorezisti (PR), ki je lahko med drugim stroškovno intenzivno, naš dozirni ventil zagotavlja natančne debeline plasti. S tem sta zagotovljeni stabilna in ponovljiva kakovost procesa ter optimalna ekonomska učinkovitost. Funkcija Suck-Back preprečuje, da bi kapljice obtičale na zunanji strani konice šobe. Naši ventili zagotavljajo natančno doziranje in odvzem zadnje kapljice ter tako ščitijo občutljive medije pred atmosferskim kisikom.

Priporočeni izdelki:
Dozirni ventili VEAB in VTEP
Magnetni ventili, ločeni z medijem VYKA/ VYKC
EPCO in ERMO električni pogoni ter ustrezni senzorji

Naši ventili in senzorji z visoko natančnostjo in učinkovitostjo nadzorujejo procesne medije v podgradnji, priključku in WFE/orodju. Ne glede na to, ali gre za gnojevko z abrazivnimi delci, mokre kemikalije, kot so kisline ali alkalije, voda DI ali topila – ne glede na to, ali je namestitev v suhem prostoru, stikalni omari ali neposredno na orodju – in ne glede na to, ali se osredotočate na minimalen odtis, čistost delcev, hitre čase preklopa ali posebne okoljske zahteve, kot so visoke temperature ali izpostavljenost kemikalijam: Festo ponuja zanesljive ventile in krmilne rešitve za vsako uporabo – za dolgotrajno in zanesljivo proizvodnjo polprevodnikov.

Naši sistemi lahko ustvarjajo podatke, ki jih lahko uporabite za spremljanje stanja sistema. V ta namen lahko uporabite obstoječe algoritme iz Festovega orodja za umetno inteligenco "Festo AX" in jih vključite v svoj sistem kot posamezne module ali kot celotni prilagojeni sistem.

Priporočeni izdelki:
Ventile VTOC, MH1, MHA2 in VUVG/ VTUX
Senzorji SPTE, SPAN in SPAF

Tako imenovano dvigalo Bowl-Lift uporablja pnevmatske pogone, s katerimi je mogoče tekoče procesne medije posebej ločiti, ponovno uporabiti ali nadzorovano odstraniti. Posamezne posode za zbiranje ("posode") so natančno nameščene in varno pritrjene glede na medij ali zahtevano višino škropljenja. Hkrati sistem pomaga znatno zmanjšati vibracije in udarce med delovanjem sistema.

Naši sistemi lahko ustvarjajo podatke, ki jih lahko uporabite za spremljanje stanja sistema. V ta namen lahko uporabite obstoječe algoritme iz Festovega orodja za umetno inteligenco "Festo AX" in jih vključite v svoj sistem kot posamezne module ali kot celotni prilagojeni sistem.

Priporočeni izdelki:
Ventilski otok VTEP
Cilinder DFM
Nadzor CPX-E
Senzor SDAT

Pri kemično-mehanskem poliranju (CMP) naš pnevmatski nadzor zagotavlja dinamično in zelo natančno silo pritiska med ploščico in polirno mizo. Ventili uravnavajo tlak v realnem času in omogočajo posebno nežno stiskanje in dvigovanje ploščic. Ventili v povezavi z našimi tlačnimi senzorji omogočajo izjemno visoko stopnjo natančnosti.

Priporočeni izdelki:
Ventili VTEP in VEAB
Tlačni senzor SPAN
Magnetni ventil, ločen z medijem VYKC

V sistemih mokrih procesov, kot so centrifugalne čistilne naprave ali premazne linije, je pomembno, da vrata v procesno komoro delujejo zanesljivo. Posebej pomembno je v čistem prostoru: zanesljivo mora zaščititi ploščice pred onesnaženjem tudi v nepričakovanih razmerah – na primer ob izpadu napajanja ali oskrbe z zrakom – in sam ne sme biti vir delcev. Naše rešitve za vratne zapahe vključujejo zanesljive in natančne okrogle valje s posebnimi mazivi za avtomatizirano odpiranje in zapiranje. Naši pnevmatski zaporni sistemi zagotavljajo tudi varno zaporo. Uporabljeni senzorji zagotavljajo zanesljivo povratno informacijo o položaju.

Priporočeni izdelki:
Okrogli valj DSNU
Sistemi za blokiranje VOFA, VTOC, MH1, VUVG/ VTUG, VTUX
Senzorji SPTE, SPAN in SPAF

Ponujamo številne specializirane rešitve za ravnanje s FOUP, SMIF podi, substrati in mrežicami v visoko avtomatiziranih tovarnah polprevodnikov. Z našim sistemom Inverted-Gantry omogočamo prostorsko varčne in ekonomične premike v EFEM, medtem ko naš inovativni sistem za poravnavo ploščic pospeši postopek nalaganja z integrirano poravnavo in tako skrajša čas cikla. Za naprave FOUP dobavljamo visoko zmogljive sisteme za čiščenje N2 z natančnim nadzorom, po želji kot enokanalno ali večkanalno rešitev, ki vam pomaga zmanjšati število vhodov/izhodov ali upravljati več naprav MFC z enim modulom vodila. Razvijamo tudi kompaktne čistilne sisteme za zamaške SMIF/ FOUP ali matrice, ki natančno nadzorujejo tudi nizke pretoke in zagotavljajo čisto zaščitno ozračje.

Ponujamo posebne rešitve za mokre postopke, kot so premazovanje PR, razvijanje, odstranjevanje ali čiščenje SpinClean. Naše rešitve, kot so ventili in senzorji, nadzorujejo vaše ventile visoke čistosti iz PFA, PTFE, PVDV ali PP ali ventile ultra visoke čistosti iz nerjavnega jekla z visoko natančnostjo in učinkovitostjo, poleg tega pa vam zagotavljajo dolgo življenjsko dobo zaradi izjemno nežnega upravljanja. Naši sistemi lahko ustvarjajo podatke, ki jih lahko uporabite za spremljanje stanja sistema. V ta namen lahko uporabite obstoječe algoritme iz Festo AI orodja "Festo AX" in jih vključite v svoj sistem kot posamezne module ali kot celotni prilagojeni sistem.
Ne glede na to, ali gre za namestitev v suho škatlo, stikalno omaro ali neposredno na orodje, ne glede na to, ali se osredotočate na čim manjši odtis, čistost delcev, hiter čas preklopa, posebne okoljske zahteve, kot so visoke temperature ali izpostavljenost kemikalijam, vam ponujamo pravo rešitev za vsako uporabo. Dozatorji za agresivne kemikalije, ventili s funkcijo Suck-Back pa preprečujejo kapljanje med doziranjem PR in zagotavljajo natančne količine medijev. Za postopke čiščenja z vrtenjem dobavljamo pnevmatske pogone, ki nadzorujejo Bowl-Lift in neprekinjeno premikajo zaščito pred brizganjem ali ločevalnik medijev v želeni položaj. Na ta način podpiramo varno, učinkovito upravljanje procesov brez kontaminacije. S tem prispevate k trajnostnemu proizvodnemu procesu. Z uporabo inovativne tehnologije ventilov lahko neposredno s podjetjem Festo varčujete z električno energijo in tako zmanjšate svoj odtis CO2. Z veseljem vas bomo spremljali na vaši poti, da postanete "zelena tovarna".

Ponujamo posebne rešitve za postopke CMP, ki zahtevajo največjo natančnost in dinamiko zlasti pri napredni embalaži. Naši zelo natančni piezo ventili omogočajo natančen nadzor kontaktnega tlaka, kar je ključnega pomena za nadzorovano in enakomerno odstranjevanje materiala. Na ta način ne le podpiramo kakovost procesa in zmanjšujemo število izmetov, temveč tudi pomagamo skrajšati čas vašega procesa. Razvijamo tudi rešitve, ki izboljšujejo učinkovitost in razpoložljivost sistemov CMP, na primer v povezavi z blazinicami za kondicioniranje ali inteligentnimi komponentami za avtomatizacijo.

Ponujamo celovite rešitve za avtomatizacijo vseh področij in procesnih korakov v polprevodniški tovarni. V inovativnih obratih na primer z raziskavami in pionirskimi izdelki podpiramo tehnološki napredek. V podgradnji zagotavljamo zanesljivo oskrbo z mediji in stabilne procese, kot je čiščenje odpadne vode ali odpadnih plinov. Naše rešitve za avtomatizacijo, od natančnih ventilov in inteligentnih pogonov do celovitih sistemov za ravnanje, zanesljivo prispevajo k stabilnejšim, hitrejšim in energetsko učinkovitejšim proizvodnim procesom.

Uporabite podatke, ki jih ustvarjajo naše rešitve, in spremljajte stanje stroja ali optimizirajte svoj proces – uporabite rešitve Festo AI "Festo AX", bodisi kot posamezni modul za posebno uporabo bodisi kot prilagojeno celovito rešitev za vaš sistem.

Z uporabo inovativne tehnologije Festo zmanjšajte porabo energije v svojem sistemu in celotni tovarni. Z nami prihranite dvakrat! Zmanjšajte porabo energije v sistemu in optimizirajte porabo stisnjenega zraka/CDA in inertnih plinov. Spremljamo vas na vaši misiji zmanjševanja odtisa CO2.

Ponujamo inovativne rešitve za napredno embalažo, ki ima osrednjo vlogo v sodobnih čipih, kot je HBM. Za postopke, kot je lepljenje flip-chipov ali spajanje/hibridno lepljenje, dobavljamo aktuatorje za natančno rokovanje, ki preprečujejo "iztiske" pri lepljenju. Izkoristite prednosti natančnih aktuatorjev, s katerimi lahko izvedete natančne premike z natančnostjo 1 µm.
Izmerite upogib ploščic (ukrivljene ploščice) in jih nataknite na vpenjalno držalo.

Spremljajte procese in stanje strojev s Festo AX. Izkoristite inovativno Festo tehnologijo v svojem fuzijskem/hibridnem spajkalniku ter povečajte zanesljivost in kakovost procesa pri zahtevnem naprednem pakiranju.