Các lỗ tiết lưu là hình thức kiểm soát dòng nitơ đơn giản nhất. Đây là những ống côn cơ học (lỗ cố định) trong hệ thống ống mềm, qua đó một lượng nitơ xác định chảy qua với áp suất không đổi. Ưu điểm: tổng chi phí cực kỳ thấp, thường dưới 90 € – bao gồm cả cụm lắp ráp cũng như van chuyển mạch đơn giản và lỗ tiết lưu. Điều này làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các ứng dụng kiểm soát dòng nitơ đơn giản với điều kiện ổn định.
Một sản phẩm thường được sử dụng trong bối cảnh này là van MH1. Đây là van tiêu chuẩn giá rẻ, kết hợp với lỗ tiết lưu, mang đến giải pháp tương tự, chức năng để điều chỉnh lưu lượng khí trong công nghiệp. Trong nhiều ứng dụng, sự kết hợp này là đủ – đặc biệt là khi áp lực đầu tư cao hoặc không yêu cầu phản hồi kỹ thuật số.
Tuy nhiên, có những giới hạn rõ ràng:
Hơn nữa, cần lưu ý rằng nếu bạn vẫn muốn ghi lại các giá trị đo được sau này, cần phải có thêm chi phí về phần cứng (ví dụ: cảm biến áp suất hoặc lưu lượng riêng biệt cũng như dữ liệu đầu vào cần thiết trên bộ điều khiển), điều này làm tăng chi phí và độ phức tạp của hệ thống. Mặc dù van có tuổi thọ và độ tin cậy rất cao, nhưng các van chuyển mạch đơn giản như MH1 không lý tưởng cho các quy trình quan trọng về vệ sinh do thiết kế của chúng, vì lượng phát thải hạt mang điện cao hơn dự kiến so với bộ điều khiển lưu lượng khối chuyên dụng.
Tuy nhiên, nhiều dây chuyền sản xuất vẫn tiếp tục dựa vào nguyên tắc này – đặc biệt là khi chỉ cần duy trì lưu lượng thể tích đơn giản không đổi và các bộ lọc thích hợp sẽ hấp thụ lại các hạt mang điện. Tuy nhiên, ngay khi cần điều chỉnh động, giám sát đáng tin cậy hoặc truy xuất nguồn gốc quy trình, giải pháp này nhanh chóng đạt đến giới hạn.
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng như VEFC, VEMD hoặc VEAD cung cấp các phương pháp điều khiển vòng kín dòng khí nitơ mà các lỗ tiết lưu cố định hoặc van tiết lưu điều chỉnh không thể thực hiện được:
Bản thân các thiết bị này không “thông minh” theo nghĩa phát hiện dị thường tự động – nhưng chúng có tính năng AI-ready. Kết hợp với việc giám sát bộ lọc, cảm biến áp suất và thuật toán, mức độ ô nhiễm của bộ lọc có thể được phát hiện, ví dụ , giúp bảo trì kịp thời mà không làm gián đoạn sản xuất.
Trước khi quyết định chọn loại van cụ thể, bạn nên cân nhắc kỹ lưỡng các yêu cầu kỹ thuật và môi trường ứng dụng. Mỗi van đều có điểm mạnh riêng – về lưu lượng, kích thước hoặc khả năng liên kết.
Trong khi các hệ thống đơn giản có vẻ rẻ hơn đáng kể khi mua, các van điều khiển đáng tin cậy có chức năng giám sát mang lại những lợi thế quyết định:
Ví dụ: Trong hệ thống có 50 van điều khiển, màn hình hiển thị đơn giản trên mỗi thiết bị có thể giúp nhanh chóng xác định các điểm lỗi – mà không cần thiết kế số hóa.
Bộ điều khiển lưu lượng khối hiện đại cung cấp dữ liệu có giá trị – lưu lượng, áp suất, nhiệt độ – có thể được tích hợp vào các hệ thống cấp cao hơn như Festo AX. Điều này sẽ mở ra những khả năng như:
Những thiết bị này không thực sự “thông minh” nhưng chúng AI-ready – và tạo thành nền tảng cho các quy trình sản xuất dựa trên dữ liệu, hướng đến tương lai.
Việc lựa chọn van phù hợp phụ thuộc vào nhiều yếu tố:
Để cung cấp cho bạn một khuyến nghị được cá nhân hóa, chúng tôi sẽ sử dụng một công cụ tương tác sử dụng các câu hỏi có mục tiêu để đề xuất giải pháp tối ưu – từ lỗ tiết lưu đơn giản đến VEFC hỗ trợ AI.
Việc điều chỉnh nitơ trong quy trình sản xuất chất bán dẫn không chỉ là vấn đề kỹ thuật nhỏ mà còn ảnh hưởng đến chất lượng, độ ổn định của quy trình và chi phí. Cho dù bạn cần một giải pháp đơn giản hay công nghệ điều khiển hiện đại, điều quan trọng là ứng dụng của bạn yêu cầu điều gì. Bằng cách đưa ra lựa chọn đúng đắn, bạn không chỉ đảm bảo độ tin cậy trong hoạt động mà còn đảm bảo hiệu quả và khả năng tồn tại trong tương lai.