Một cách để giảm bớt áp lực giá này là hạ đáng kể mức tiêu thụ nitơ và năng lượng cần thiết khi sản xuất chất bán dẫn. Nitơ là môi trường được sử dụng phổ biến nhất trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Trong các nhà máy bán dẫn lớn, mức tiêu thụ nitơ có thể lên tới 50.000 mét khối mỗi giờ. Trong số những vật liệu khác, nitơ được sử dụng để thanh lọc FOUP nhằm tạo ra một môi trường được kiểm soát, không bị ô nhiễm cho các tấm bán dẫn được vận chuyển từ máy này sang máy khác để xử lý.
Phân tích kỹ lưỡng các khu vực sử dụng nitơ trong nhà máy và giảm thiểu mức tiêu thụ nitơ có mục tiêu sẽ giúp tiết kiệm khí này đáng kể trong một khoảng thời gian ngắn. Đặc biệt, xả FOUP mang lại nhiều cơ hội sử dụng nitơ hiệu quả hơn nhờ chủ động định lượng bằng vòng điều khiển khép kín. So sánh với các loại van thông thường, van xả áp điện có độ chính xác cao hơn, đồng thời tiêu thụ cực ít điện năng. Cùng với những hệ thống tương ứng, mức tiêu thụ nitơ của một nhà máy lớn cũng như mức tiêu thụ năng lượng liên quan và lượng khí thải CO2 có thể được giảm đáng kể.
