Contrôler précisément les gaz inertes : l’alternative avantageuse
Le régulateur de débit massique VEFC est particulièrement adapté à l’industrie des semi-conducteurs, mais en fait partout où les gaz inertes doivent être contrôlés avec précision. Le très compact VEFC élargit la gamme de produits Controlled Pneumatics. En même temps, il dispose de tous les avantages des distributeurs à commande piézoélectrique : dynamique maximale, précision continue, très faible consommation électrique et échauffement, débit stable sans réglage manuel, avec un très bon rapport prix/performances.
Purgation de N2 économique, sûre et précise
Avec VEFC dans le port de charge, il est possible de réguler les débits les plus divers dans les différentes étapes de purge. Lors des opérations de pré-soufflage, de pré-purge, de purge de processus et de post-purge, VEFC garantit que seule la quantité d’azote strictement nécessaire est consommée. Vous économisez ainsi de l’azote et réduisez le temps de processus jusqu’à ce que l’atmosphère sèche de gaz protecteur soit atteinte.
