マスフローコントローラ VEMD
ダイナミックマスフローコントローラVEMDは比例バルブにより非常に静かに作動します。 センサを備えた統合エレクトロニクスが、空気、酸素、窒素、アルゴン、CO2の流量を検出、調整、比例投与する。
- サーマルフローセンサと統合制御エレクトロニクスを備えたマスフローコントローラ(MFC)
- 応答時間の短いダイナミックな制御
- 使用媒体:空気, 酸素, 窒素, アルゴン, CO2
- 現在の流量値はインタフェース経由で入手可能
- 不活性ガスや酸素を制 御する必要がある多くの用途に最適
- 効率的な制御により持続可能な運転が実現

