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精確控制惰性氣體:性價比之選

質流控制器 VEFC 尤其適合用於半導體工業,但也適用於需要精確控制惰性氣體的場合。VEFC 結構非常精巧,擴展了氣控邏輯元件產品組合。同時,它也具有壓電閥的所有優點:動態性能超高、無段精度、超低電耗、超低發熱、無需手動調節即可穩定流量 ─ 具有極高的性價比。

經濟、安全、精確的氮氣吹掃

將 VEFC 安裝在負載端口,即可在單個吹掃步驟中調節不同流量。在預吹氣、預吹掃、過程吹掃和後吹掃過程中,VEFC 可確保只消耗絕對必要的氮氣量。如此一來就能節省氮氣,縮短過程時間,直至達到乾燥的保護氣體環境。

VEFC 資訊圖