Kiểm soát khí trơ chính xác: giải pháp thay thế tiết kiệm chi phí
Bộ điều khiển lưu lượng khối VEFC đặc biệt phù hợp với ngành công nghiệp bán dẫn, nhưng thực tế là ở bất kỳ nơi nào cũng cần kiểm soát khí trơ chính xác. VEFC rất nhỏ gọn sẽ mở rộng danh mục sản phẩm Controlled Pneumatics. Đồng thời, nó có tất cả các ưu điểm của van Piezo: động lực tối đa, độ chính xác vô hạn, mức tiêu thụ điện năng và sưởi ấm rất thấp, dòng chảy ổn định mà không cần điều chỉnh thủ công - với tỷ lệ hiệu suất giá rất tốt.
Thanh lọc N2 tiết kiệm, an toàn và chính xác
Với VEFC tại Loadport, nhiều lưu lượng khác nhau có thể được kiểm soát trong các bước thanh lọc riêng lẻ. Trong quá trình Pre-Blowing, Pre-Purge, Process-Purge và Post-Purge, VEFC đảm bảo chỉ sử dụng lượng nitơ thực sự cần thiết. Điều này giúp tiết kiệm nitơ và rút ngắn thời gian xử lý cho đến khi đạt được môi trường khí bảo vệ khô.
