Nauwkeurige regeling van inerte gassen: het gunstige alternatief
De mass flow controller VEFC is ideaal voor de halfgeleiderindustrie in het bijzonder, maar eigenlijk overal waar inerte gassen nauwkeurig moeten worden geregeld. De zeer compacte VEFC breidt het productportfolio van Controlled Pneumatics uit. Tegelijkertijd heeft het alle voordelen van piëzoventielen: maximale dynamiek, traploze precisie, zeer laag stroomverbruik en verwarming, stabiel debiet zonder handmatige aanpassing - en een zeer goede prijs-prestatieverhouding.
Economische, veilige en nauwkeurige N2-purging
Met VEFC in de loadport kan een grote verscheidenheid aan debieten worden geregeld in de afzonderlijke purge-steps. Tijdens Pre-Blowing, Pre-Purge, Process-Purge en Post-Purge zorgt VEFC ervoor dat alleen de absoluut noodzakelijke hoeveelheid stikstof wordt gebruikt. Dit bespaart stikstof en verkort de procestijd tot de droge beschermgasatmosfeer is bereikt.
