質流控制器 VEMD

歸功於比例閥,動態質流控制器 VEMD 運作噪音極低。 具有感測器的整合式電子元件按比例對空氣、氧氣、氮氣、氬氣和二氧化碳的流量進行偵測、調整和計量。
  • 質流控制器 (MFC),具有熱流量感測器和整合控制電子裝置
  • 動態調節,回應時間短
  • 工作介質:空氣、氧氣、氮氣、氬氣、二氧化碳
  • 目前流量值可透過介面獲得
  • 適用於許多需要調整惰性氣體或氧氣的應用
  • 透過高效控制達成永續運行