Controllo preciso dei gas inerti: l'alternativa favorevole
Il regolatore di portata VEFC è ideale soprattutto per l'industria dei semiconduttori, in realtà ovunque sia necessario controllare con precisione i gas inerti. Il VEFC, molto compatto, amplia la gamma di prodotti Controlled Pneumatics. Allo stesso tempo, presenta tutti i vantaggi delle piezo-valvole: massima dinamica, precisione senza limiti, consumo di energia e riscaldamento molto contenuti, portata stabile senza regolazione manuale, a fronte di un ottimo rapporto qualità/prezzo.
Spurgo N2 economico, sicuro e preciso
Con il VEFC nella porta di carico è possibile regolare un'ampia varietà di portate, nelle singole fasi di spurgo. Durante le fasi di pre-soffiaggio, pre-spurgo, spurgo del processo e post-spurgo, il VEFC assicura che venga utilizzata solo la quantità di azoto assolutamente necessaria. In questo modo si risparmia azoto e si accorcia il tempo di processo, fino al raggiungimento dell'atmosfera di gas inerte secco.
