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질량 유량 제어기 VEFC
불활성 가스용 초소형 VEFC는 피에조 밸브의 모든 장점인 최대 역학, 연속식 정밀도, 매우 낮은 전력 소비 및 가열, 수동 조정이 필요 없는 안정적인 유량을 지니고 있습니다.
초소형: 폭이 24mm에 불과
직접 제어되는 동적 피에조 밸브
매우 유연함: 사용자 정의 가능한 제어 매개변수
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