질량 유량 제어기 VEFC

불활성 가스용 초소형 VEFC는 피에조 밸브의 모든 장점인 최대 역학, 연속식 정밀도, 매우 낮은 전력 소비 및 가열, 수동 조정이 필요 없는 안정적인 유량을 지니고 있습니다.
  • 초소형: 폭이 24mm에 불과
  • 직접 제어되는 동적 피에조 밸브
  • 매우 유연함: 사용자 정의 가능한 제어 매개변수
  • 탁월한 가성비
  • 효율적인 제어를 통한 지속 가능한 작동