가장 작은 공간에서도 매우 정확하고 역동적인 압력 제어
새로운 비례 밸브 아일랜드 VTEP는 제어 공압용 제품 포트폴리오를 확장합니다. 이는 저유량의 매우 컴팩트한 다중 채널 압력 제어가 인상적입니다. 10개의 작업 채널이 있는 최대 5개의 밸브를 압력 및 진공과 동시에 제어할 수 있습니다. VTEP에는 구리, 니켈, 아연이 포함되어 있지 않아 전자, 반도체, 생명과학, 섬유, 배터리 생산 등 다양한 산업에 이상적입니다.
다양한 용도에 적합
고정밀, 힘 제어 연마
폴리싱 장치에 있는 개별 폴리싱 챔버의 다양한 접촉 압력은 고정밀로 제어되며 VTEP를 통해 웨이퍼를 폴리싱할 때에도 우수한 폴리싱 결과를 보장합니다.
댄서 롤에 대한 최상의 컨트롤
작은 것부터 매우 큰 경로 제어까지: 예상치 못한 힘이 가해지는 경우 완벽한 조정으로 프로세스 신뢰성이 향상됩니다. VTEP는 예를 들어 배터리 필름의 경로 제어에 적합합니다.
공정 자동화용 파일럿 밸브
VTEP와 같은 밸브는 미디어 밸브의 파일럿 밸브 역할도 합니다. 예를 들어, 포토리소그래피에서는 웨이퍼를 내광성 래커로 매우 정밀하게 밀봉해야 합니다. 흡입 기능으로 과도한 페인트가 나오지 않도록 합니다.
압력이나 진공을 통해 분배, 투여 또는 펌프
VTEP를 사용하면 압력 및 진공을 사용하여 패치 클램핑과 같은 애플리케이션을 구현할 수 있습니다. 그러나 테스트 및 분석을 위한 페인트, 접착제 또는 액체도 개별 레시피에 따라 매우 정밀하게 투여할 수 있습니다. 이는 전기 자동화나 표준 공압으로는 불가능합니다.
